检索结果-内蒙古大学图书馆

应用于音频放大器的多位Σ-Δ调制器的设计

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微型机与应用 2005年第9期24卷 24-26页

作者：张冲王森章王振林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为在低过采样率下设计出高性能的调制器,通过采用级间反馈和1位AD/DAC与多位AD/DAC的混合设计,降低多位DAC非线性化而带来的噪声,进一步改善输出信号的信噪比。提出了一种应用于数字音频放大器中的多位Σ-Δ调制器结构。

关键词： ∑-△调制器数模转换器信噪比过采样率数字音频放大器混合设计应用 DAC 非线性化输出信号

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静电悬浮转子微陀螺及其关键技术

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中国惯性技术学报 2005年第6期13卷 61-67页

作者：崔峰苏宇锋张卫平吴校生陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 详细信息

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。

关键词：微机电系统微陀螺微加速度计转子静电悬浮

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UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究

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微细加工技术 2005年第4期 69-75页

作者：张晔陈迪潘欣欣方华斌朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺... 详细信息

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺路线适用于对机械强度要求不高的各类多层微结构器件,一次电铸工艺路线适用于对机械强度要求较高的结构,其中溅射种子层工艺适用于深宽比较小的多层微结构模具,而直接电铸工艺适用于深宽比较大且层间直径相差较小的多层微结构器件。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶双层微齿轮

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不同晶化处理方式对PZT薄膜性能的影响

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纳米科技 2005年第6期2卷 35-38页

作者：李敏惠春汪静上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对... 详细信息

采用改进的溶胶一凝胶（sol—gel）法在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备PZT薄膜，研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。实验结果表明：快速晶化处理方式更有利于薄膜沿（110）方向的择优生长；并且相对于常规晶化处理方式，快速晶化处理方式制备的PZT薄膜晶粒均匀，排布有序，可有效的提高薄膜的表面质量。电学性能测试结果表明，这种表面形貌可以有效地降低漏电流。

关键词： PZT薄膜 XRD AFM 漏电流溶胶-凝胶

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钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

钛乙二醇盐的制备及其在聚酯缩聚催化与原位功能复合中的应用

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2005年上海市颗粒学会年会

作者：徐宏黄伟程存康古宏晨上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯... 详细信息

本文首先合成了新型高抗水解性的钛的乙二醇盐,同时对其进行了结构表征.其次,以乙二醇钛为前驱体,水解合成了粒径分布均一的二氧化钛粒子并对其水解过程进行了研究.再次,将乙二醇钛用作聚对苯二甲酸乙二酯的缩聚催化剂,研究了其对聚酯缩聚的催化作用,结果发现相比传统的锑系催化剂,乙二醇钛催化活性高且无环境污染.最后,以乙二醇钛作为原位生成纳米TiO2的前驱体并将其与聚酯进行原位功能复合,成功制备了真正纳米尺度分散与复合的纳米TiO2/PET复合材料,复合材料的力学性能与抗紫外线性能卓越.

关键词：纳米材料乙二醇钛化学合成

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MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

MEMS微器件用永磁体电镀技术的研究

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2005年上海市电镀与表面精饰学术年会

作者：汪红丁桂甫苏宇锋上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及... 详细信息

采用掩膜-电铸（镀）技术制作 MEMS 微器件是一种行之有效的方法。本文研究了采用电镀方法制备 CoNiMnP 永磁薄膜的工艺、性能以及在微继电器原位制造、电磁驱动器永磁体阵列器件方面的应用。对薄膜的组成、磁性能、晶体结构、脆性以及应力等性能的研究对比表明:从稀氯化物体系（200mT）中获得的 CoNiMnP永磁体薄膜具有最好的磁性能:Hc=26230e,Br=0.2 T,（BH）max=10.15kJ/m,且脆性小、内应力较低。进一步解析发现这可能是因为与易磁化轴相平行的 Co（110）面上存在织构所致。在此基础上采用掩膜一电镀技术已成功地制备出微继电器原位制造和电磁驱动器永磁体薄膜阵列。

关键词： MEMS 微器件 CONiMnP 永磁体薄膜掩膜微电铸(镀) 磁性能

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基于声悬浮的非接触超声波电机

基于声悬浮的非接触超声波电机

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全国第三届超声波电机理论和应用技术研讨会

作者：杨斌刘景全陈迪蔡炳初微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院(上海)

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相... 详细信息

研制了一种圆盘型非接触超声波电机,通过调节垫片的厚度来控制转子的悬浮高度.对该马达建立了声辐射压力模型,计算和分析了转子的平衡位置,和实验值进行对比,结果吻合较好.通过分析调相调速原理来进行相关实验研究,从结果得知,转速和相位呈正弦规律变化,改变相位差能够改变转子的转动方向,正反转时输出性能一致.

关键词：超声波电机非接触声悬浮声辐射压力

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射频磁控溅射法制备BST薄膜

射频磁控溅射法制备BST薄膜

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2005(第四届)中国纳米科技西安研讨会

作者：唐逸杨春生张丛春上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

本文应用平板式射频磁控溅射设备制备出了良好介电性能的BST纳米薄膜,系统地研究了溅射过程中不同氧分压对沉积薄膜的化学成份、结晶性的影响。

关键词：纳米薄膜钛酸锶钡磁控溅射

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基于光刻胶回流特性的平面化工艺

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微细加工技术 2005年第4期 12-15,30页

作者：叶枝灿徐东王芸王莉吴茂松上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 霍尼韦尔上海传感器实验室上海200030

研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较... 详细信息

研究了一种利用光刻胶的回流特性去除表面的磨痕,使其表面平整化的方法,结合牺牲层结构可以非常简便地制备出微机电器件中各种悬臂梁结构。着重研究了光刻胶的前烘胶温度、回流温度、回流时间对回流效果的影响。通过大量的实验得到了较好的回流工艺,即光刻胶90℃下60 min前烘后,并在90℃下回流60 min,不但能通过机械抛光准确控制减薄厚度,而且还可以完全除去其表面的磨痕,获得平滑的表面结构。

关键词：光刻胶回流平面化牺牲层

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准一维β-FeOOH纳米线阵列的磁性及其尺寸效应

准一维β-FeOOH纳米线阵列的磁性及其尺寸效应

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第十二届全国磁学和磁性材料会议

作者：张丽英薛德胜冯杰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室

用电化学方法在多孔氧化铝模板中合成了直径50-200 nm的β-FeOOH纳米线阵列。透射电镜的脱测表明,纳米线均匀,具有较高的长径比。X射线和选区电子衍射结果显示纳米线阵列具有非晶结构。用SQUID MPMS测量ZFC-FC曲线发现不同直径的纳米线... 详细信息

用电化学方法在多孔氧化铝模板中合成了直径50-200 nm的β-FeOOH纳米线阵列。透射电镜的脱测表明,纳米线均匀,具有较高的长径比。X射线和选区电子衍射结果显示纳米线阵列具有非晶结构。用SQUID MPMS测量ZFC-FC曲线发现不同直径的纳米线阵列在低温下具有自旋冻结现象,阻截温度TB约为20 K。观测磁化强度与温度的关系曲线发现Neel温度TN约为25 K,远远低于块体材料的Neel温度（约290 K）,除了直径50 nm的纳米线阵列外,直径对TB与TN的影响很小。测量磁滞回线发现,室温下具有线型磁滞回线,而低温5 K时, 纳米线阵列具有磁滞现象,矫顽力达到1500 Oe。这些反常磁性可以用纳米线的晶体结构和低维效应引起的表面效应解释。强场下的M-T曲线测量使得这种解释得到进一步的验证。

关键词： β-FeOOH 纳米线电沉积磁性

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