检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2024年第9期43卷 68-70页

作者：王卓刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.... 详细信息

介绍了一种带有集成Ag/AgCl参比电极的硅记录探针,通过表面聚乙烯醇缩丁醛(PVB)的修饰实现稳定的pH传感,用于应用神经科学。集成参比电极通过恒流电化学镀法实现银层的制备以及氯化,滴涂的PVB主要用作参比电极的保护膜,参比电极面积为0.44 mm^(2)。最终硅记录探针的pH灵敏度为53.13 mV/pH,电位漂移为8 000 s下20 mV,并且探针工艺与硅基探针高度融合。总之,集成参比电极并且提高其稳定性对于生物传感器以及脑疾病诊断生物标志物的电化学检测具有重要意义。

关键词： Ag/AgCl参比电极 pH传感器生物稳定性

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基于章鱼吸盘柔性干电极的可穿戴脑电采集系统

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传感器与微系统 2022年第9期41卷 69-72页

作者：宋振宇申跟财刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的... 详细信息

研制了一种基于章鱼吸盘仿生结构的柔性干电极的可穿戴脑电(EEG)采集系统。干电极在硅胶(ecoflex)上实现章鱼吸盘结构,其利用吸盘的吸力可便捷地吸附,且易于剥离,可多次重复使用。EEG采集系统包括采用ADS1299的集成模拟前端模块,ZYNQ的数据处理与控制模块和基于WiFi协议的无线传输模块,整体尺寸为52 mm×35 mm×12 mm,使用锂电池供电,PC端通过Python编写接收程序实时显示存储EEG信号。系统使用章鱼吸盘电极得到的EEG信号质量和传统湿电极相当。

关键词：章鱼吸盘柔性电极可穿戴脑电信号采集

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硅阵列探针上基于IrO_(x)的pH传感器和电生理信号传感器

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传感器与微系统 2022年第4期41卷 70-72,85页

作者：王琛刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz... 详细信息

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数,并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中,电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗,而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度。此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制。

关键词： pH传感器微机电系统多功能密歇根探针

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Evanohm合金的双环线型微加热器特性研究

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传感器与微系统 2022年第1期41卷 7-9,14页

作者：仲逸飞刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性... 详细信息

以Evanohm合金为材料,设计了一种双环线型微加热器。使用AC磁控溅射技术在硅基底上沉积合金薄膜,并采用微机电系统(MEMS)微加工工艺实现薄膜图形化,以此作为加热器的加热元件。在常温下,研究了所制备的薄膜加热器件的加热性能与电学特性,并在深低温下进一步测试了其电学性能。研究结果表明:此种微型加热器电阻值稳定。在[5,300]K的温度区间内,加热器的电阻值变化不超过2%;在40 K的温度,电阻值达到Kondo最小值;在[35,55]K的温度区间,温度系数降至8.9×10^(-6) K^(-1)。器件可在较宽低温区保持良好的电阻值稳定性,具有在低温环境中应用的潜力。

关键词：微型加热器微机电系统 Evanohm合金低温

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MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究

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传感技术学报 2020年第6期33卷 825-829页

作者：侯晓伟刘莉娜吕阳郑良广张丛春宁波中车时代传感技术有限公司中国中车传感测量技术研发中心浙江宁波315021 湖南汽车工程职业学院车辆工程学院湖南株洲412000 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的... 详细信息

采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器,在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理,对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量,其在零摄氏度的电阻温度系数可达3150×10^-6/K。另外还对退火后的铂电阻样品阻温特性进行了多次升温降温测试,其升温曲线和降温曲线基本重合,表明退火处理可以明显的改善铂薄膜温度传感器的稳定性和重复性。

关键词：铂电阻温度传感器微机电系统热处理电阻温度系数

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微型机器人集群短距离相对定位方法

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半导体光电 2017年第5期38卷 762-766页

作者：毛玲李振波陈佳品上海电力学院电气工程学院上海200090 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

对平面内微机器人集群短距离相对定位问题进行了研究,针对微机器人尺寸小的特点,利用红外发送器、红外接收器和磁阻传感器相配合的方法实现了微型机器人集群的相对定位,分析了该相对定位方法的误差来源。仿真计算和实验结果证明了上述... 详细信息

对平面内微机器人集群短距离相对定位问题进行了研究,针对微机器人尺寸小的特点,利用红外发送器、红外接收器和磁阻传感器相配合的方法实现了微型机器人集群的相对定位,分析了该相对定位方法的误差来源。仿真计算和实验结果证明了上述方法的可行性。提出的相对定位方法具有精度高、无积累误差、分布式、快速和可扩展等优点。

关键词：微机器人相对定位红外通信电磁微马达集群机器人

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基于红外的微机器人集群自主通信转接控制方法

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半导体光电 2016年第2期37卷 252-255,297页

作者：林建斌毛玲李振波陈佳品上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

对多障碍物环境下微机器人集群自主通信转接的控制问题进行了研究。结合微机器人尺寸小的特点,采用低功耗的红外通信方式,利用载波侦听多路访问技术实现了多移动微机器人间的红外通信。在红外通信的基础上,建立了基于弹簧阻尼系统的自... 详细信息

对多障碍物环境下微机器人集群自主通信转接的控制问题进行了研究。结合微机器人尺寸小的特点,采用低功耗的红外通信方式,利用载波侦听多路访问技术实现了多移动微机器人间的红外通信。在红外通信的基础上,建立了基于弹簧阻尼系统的自主通信转接控制模型,设计了相应的控制器以实现微机器人的运动控制,进而实现微机器人集群的自主通信转接。仿真结果验证了该控制方法的有效性。

关键词：微机器人集群多障碍物环境通信转接红外通信

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基于单壁碳纳米管与镍基底的超声纳米焊接及场发射性能研究（英文）

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纳米技术与精密工程 2016年第5期14卷 379-383页

作者：刘璇王亚荣李必奎王鹏波王世明张亚非上海海洋大学工程学院上海201306 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细科技教育部重点实验室上海200240

超声纳米焊接技术被用来改善单壁碳纳米管(SWNTs)的场发射性能.利用电泳沉积的方法将SWNTs沉积在镍衬底上形成SWNT薄膜.将沉积有SWNT薄膜的样品进行超声纳米焊接.在高频超声能量和压紧力的共同作用下,金属镍首先发生软化,使得SWNTs很容... 详细信息

超声纳米焊接技术被用来改善单壁碳纳米管(SWNTs)的场发射性能.利用电泳沉积的方法将SWNTs沉积在镍衬底上形成SWNT薄膜.将沉积有SWNT薄膜的样品进行超声纳米焊接.在高频超声能量和压紧力的共同作用下,金属镍首先发生软化,使得SWNTs很容易埋入镍中,从而两者形成了可靠的连接.扫描电子显微镜形貌图展示了SWNTs被嵌入了镍金属层中.作为稳定的发射极,焊接后的样品展现出了更加优异的场发射性能:较低的开启电压、较高的发射电流密度和更加稳定的发射电流.这主要是因为焊头表面的小突起更有利于SWNTs的端部翘起,小的接触电阻有助于电子发射的结果.大面积纳米焊接技术的使用可提高纳米焊接效率,加速大规模制备SWNT场致发射阴极.

关键词：超声纳米焊接单壁碳纳米管薄膜镍基底场发射性能尖端接触电阻

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内部梳齿状pn结结构对单晶硅太阳电池电学特性的影响

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太阳能学报 2015年第1期36卷 96-101页

作者：余孟尧王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上... 详细信息

提出梳齿状pn结单晶硅太阳电池,通过计算机TCAD模拟的方法,对单晶硅太阳电池的梳齿状pn结结构对电池内部电流分布和电池效率造成的影响进行模拟分析和理论研究。研究结果表明采用pn结梳齿状结构对单晶硅太阳电池的电学性能有一定程度上的优化,但同时也带来电流集边等非理想效应。在模拟范围内,梳齿宽度为1μm,深度为30μm的梳齿状pn结单晶硅电池拥有更理想的电池效率。

关键词：单晶硅太阳电池电学结构 TCAD模拟 pn结梳齿

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永磁轮式爬壁微机器人尺寸优化设计研究

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机械设计与制造 2015年第2期 32-35页

作者：张大伟李振波陈佳品郑州大学信息工程学院河南郑州450001 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

给出了一种全向的永磁轮式爬壁微机器人。为获得爬壁机器人运动所需力矩和磁力与其尺寸设计之间的关系,研究了其动力学分析方法。结合爬壁机器人自身永磁轮尺寸、永磁轮间距、转向齿轮传输比、底盘半径、所需磁吸附力等设计约束,构造所... 详细信息

给出了一种全向的永磁轮式爬壁微机器人。为获得爬壁机器人运动所需力矩和磁力与其尺寸设计之间的关系,研究了其动力学分析方法。结合爬壁机器人自身永磁轮尺寸、永磁轮间距、转向齿轮传输比、底盘半径、所需磁吸附力等设计约束,构造所需驱动力矩最小为目标函数,对其主要尺寸参数进行了优化设计。通过ANSOFT磁力仿真、Pro/Engineer机械仿真和MATLAB计算对爬壁机器人整体尺寸优化设计进行求解。对仿真计算结果进行了分析比较,证明上述设计方法的可行性。

关键词：爬壁微机器人全向动力学尺寸优化

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