检索结果-内蒙古大学图书馆

传感技术学报 2009年第1期22卷 15-18页

作者：王亚军杨春生刘景全沈修成郭忠元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表... 详细信息

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果。同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察。

关键词：视网膜假体 Parylene 光刻胶热熔微电极阵列 MEMS

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于MEMS加速度计的输入系统的研究

引用

传感技术学报 2009年第5期22卷 639-642页

作者：钱莉陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并... 详细信息

该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并给出了输入系统的第一代实际PCB原型。并且在二维的基础上扩展了微加速度计在三维的应用,设计了一个新的三维模型,并进行了试验的验证。

关键词： MEMS 输入系统加速度计三维模型

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制

引用

传感技术学报 2009年第12期22卷 1696-1700页

作者：胡志军陈迪黄闯陈翔朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U&... 详细信息

设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U"型梁设计,能够在不增加功耗的条件下,获得较大的驱动力。并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明,这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。

关键词： MEMS 微继电器电热驱动有限元分析

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于MEMS技术的异平面空心金属微针

引用

传感技术学报 2009年第2期22卷 151-154页

作者：沈修成刘景全王亚军郭忠元芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... 详细信息

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。

关键词： MEMS 微针电镀异平面药物投送

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

微拉伸系统中微弹簧力学传感器的研究

引用

机械强度 2009年第6期31卷 914-918页

作者：刘瑞汪红李雪萍丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米／纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung... 详细信息

研究应用于薄膜力学微拉伸测试系统的微弹簧力传感器。在单轴薄膜微拉伸系统的基础上,通过有限元模拟分析,研究以S型弹簧为结构基础的微弹簧力传感器。根据模拟结果,利用高精度线切割和UV-LIGA(Ultraviolet Lithographie GalVanoformung Abformung)技术制备出微弹簧力传感器,并在自制装置上进行标定。标定结果表明,由负胶工艺制备的自由式微弹簧力传感器有良好的线性,而且与Ansys模拟的弹性系数结果一致,为微拉伸测试系统提供良好的条件。

关键词：力传感器 ANSYS 微弹簧

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于同步辐射光刻的多层微纳结构制造(英文)

引用

纳米技术与精密工程 2009年第2期7卷 186-189页

作者：李以贵杉山进上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 日本立命馆大学微系统系

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多... 详细信息

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多层结构包括140个单元的叉指平行电容器,每个电容器的间隔是2,μm,最小尺寸是4,μm,厚度是200,μm,故深宽比达到50∶1.该制造方法具有高深宽比、高产出率及成本低等优点.

关键词：多层微纳制造同步辐射光刻对准工具

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

蓝钨与紫钨氢还原法生产超细钨粉的比较

引用

稀有金属材料与工程 2009年第A01期38卷 548-552页

作者：王岗李海华黄忠伟陈美华王庆康钟伟良上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海伟良企业发展有限公司上海201815

在相同的工艺条件下,比较了蓝钨与紫钨氢还原法生产的钨粉的性能差别。结果表明:与蓝钨相比,紫钨生产的钨粉粒度更细更均匀,并且钨粉粒度受装舟量和氢气流量的影响较小。并从原料的微观结构和氢还原机理两方面分析了造成不同原料生产的... 详细信息

在相同的工艺条件下,比较了蓝钨与紫钨氢还原法生产的钨粉的性能差别。结果表明:与蓝钨相比,紫钨生产的钨粉粒度更细更均匀,并且钨粉粒度受装舟量和氢气流量的影响较小。并从原料的微观结构和氢还原机理两方面分析了造成不同原料生产的钨粉粒度和均匀性差别的原因。

关键词：氧化钨氢还原超细钨粉

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

引用

传感器与微系统 2009年第6期28卷 117-120页

作者：张晓鹏戴旭涵苗小丹丁桂甫赵小林上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标... 详细信息

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。

关键词：微机电系统电磁驱动微电铸湿法腐蚀

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅薄膜太阳能电池背部反射结构设计

引用

量子光学学报 2009年第4期15卷 380-386页

作者：黎慧华王庆康薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240

设计了一种新型叠层光栅结构的晶体硅薄膜太阳能电池底部反射器，它由分布布拉格反射器（Distributed Bragg Reflectors，DBR）和衍射光栅两部分组成。利用严格耦合波分析（Rigorous Coupled Wave Analysis，RCWA）方法和模式传输线理论... 详细信息

设计了一种新型叠层光栅结构的晶体硅薄膜太阳能电池底部反射器，它由分布布拉格反射器（Distributed Bragg Reflectors，DBR）和衍射光栅两部分组成。利用严格耦合波分析（Rigorous Coupled Wave Analysis，RCWA）方法和模式传输线理论（Modal Transmission Line，MTL），对DBR和光栅进行优化设计，使该叠层光栅结构在800～1100nm波长范围内能高效反射入射光并得到大倾斜角的反射光，有效延长光子在电池体区的传播路径，使其被充分吸收。结果表明，四层Si／SiO2DBR的反射率可达99．95％，零级衍射序被有效抑制，并得到具有较大倾斜角的±1级衍射序，太阳能电池的捕光能力大大提高。

关键词：背部反射光栅严格耦合波分析分布布拉格反射器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

用于药物传输的MEMS平面金属微针

引用

纳米技术与精密工程 2009年第5期7卷 419-422页

作者：闫肖肖沈修成刘景全王亚军孙文强徐宇虹上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学药学院上海200240

介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式——透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实心微针和空心微针.这两种金属微针均采用电镀技术制作,既降低... 详细信息

介绍了传统给药方式的局限性、微针应用于新的药物传输方式——透皮给药的优点以及微针的特点,并提出了一种基于微机电系统技术制作同平面金属微针的方法.采用该方法可制备实心微针和空心微针.这两种金属微针均采用电镀技术制作,既降低了成本又提高了微针的强度.微针为楔形,边缘比较光滑,针尖有较锋利的尖端,改善了刺入皮肤的效果;针体长度400μm,厚度50μm,其中空心微针中的微流道宽度为50μm.此类微针便于改变尺寸以满足不同的需要.用该微针进行了刺入鼠皮的实验,验证了该微针刺入皮肤的有效性.

关键词：微针微机电系统药物传输电镀同平面

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：