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用电化学方法在多孔氧化铝模板中合成了直径50-200 nm的β-FeOOH纳米线阵列。透射电镜的脱测表明,纳米线均匀,具有较高的长径比。X射线和选区电子衍射结果显示纳米线阵列具有非晶结构。用SQUID MPMS测量ZFC-FC曲线发现不同直径的纳米线阵列在低温下具有自旋冻结现象,阻截温度TB约为20 K。观测磁化强度与温度的关系曲线发现Neel温度TN约为25 K,远远低于块体材料的Neel温度（约290 K）,除了直径50 nm的纳米线阵列外,直径对TB与TN的影响很小。测量磁滞回线发现,室温下具有线型磁滞回线,而低温5 K时, 纳米线阵列具有磁滞现象,矫顽力达到1500 Oe。这些反常磁性可以用纳米线的晶体结构和低维效应引起的表面效应解释。强场下的M-T曲线测量使得这种解释得到进一步的验证。

关键词： β-FeOOH 纳米线电沉积磁性

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Pd^(2+)离子对TiO_2光催化薄膜化学稳定性的影响

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稀有金属材料与工程 2004年第12期33卷 1347-1350页

作者：徐爱兰惠春许小兵上海交通大学微纳米科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用 Sol-Gel 工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加 0.3%~0.5%贵金属 Pd2+的 TiO2-SiO2 复合薄膜。通过对薄膜的 XRD,SEM 表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测,结果表明,在 TiO2-SiO2 薄膜中添加 Pd2+,增强了 TiO2 薄膜的光催化活... 详细信息

采用 Sol-Gel 工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加 0.3%~0.5%贵金属 Pd2+的 TiO2-SiO2 复合薄膜。通过对薄膜的 XRD,SEM 表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测,结果表明,在 TiO2-SiO2 薄膜中添加 Pd2+,增强了 TiO2 薄膜的光催化活性,由于 Pd2+所起到阻滞剂的作用,使晶粒尺寸减小,表面呈多孔合理结构,改善了TiO2 薄膜的显微结构,使薄膜的化学稳定性得到明显的提高。

关键词： TiO2光催化复合薄膜化学稳定性

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环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望

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高分子材料科学与工程 2004年第4期20卷 59-61页

作者：朱军刘景全张金娅陈迪石磊薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米技术研究院上海200030

环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(γ-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体。SU-8胶作为一种光刻材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学... 详细信息

环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(γ-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体。SU-8胶作为一种光刻材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro-electro-mechanic-sys-tem)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中。本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展。

关键词：环氧基紫外负性光刻胶应用双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂有机聚合物胶体光刻结构性能微线圈微弹簧

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液相法制备纳米粒子的粒径控制研究

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功能材料 2004年第z1期35卷 2699-2703页

作者：张效岩王英张亚非上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布... 详细信息

液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布方面的应用.

关键词：纳米粒子液相法粒径控制化学计量学

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基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

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机械制造 2004年第12期42卷 25-28页

作者：苏宇锋陈文元上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室200030

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 详细信息

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。

关键词：电磁驱动微驱动器 Parylene振动膜

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PMMA的反应离子深刻蚀

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真空科学与技术学报 2004年第2期24卷 157-160页

作者：张丛春杨春生丁桂甫黄龙旺薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

对PMMA进行反应离子深刻蚀以获得高深度比微结构。研究了纯氧刻蚀气体中加入CHF3 对刻蚀速率、图形形貌等的影响。纯氧刻蚀PMMA ,钻蚀现象严重。加入CHF3 后 ,刻蚀速率随CHF3 含量增加而下降。加入适量CHF3 ,可以在侧壁形成钝化层 ,保... 详细信息

对PMMA进行反应离子深刻蚀以获得高深度比微结构。研究了纯氧刻蚀气体中加入CHF3 对刻蚀速率、图形形貌等的影响。纯氧刻蚀PMMA ,钻蚀现象严重。加入CHF3 后 ,刻蚀速率随CHF3 含量增加而下降。加入适量CHF3 ,可以在侧壁形成钝化层 ,保护侧壁不受钻蚀。当CHF3 含量为 4 0 % ,刻蚀功率 30W ,工作气压为 4Pa时 ,即使刻蚀深度达到 4 0 0 μm ,侧壁仍然陡直 ,刻蚀深宽比大于 10。

关键词： PMMA 反应离子刻蚀比微结构刻蚀气体钻蚀 HGA技术

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磁悬浮转子微陀螺的设计技术

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光学精密工程 2004年第z1期12卷 1-5页

作者：张卫平陈文元吴校生赵小林崔峰黄晓刚刘武上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应... 详细信息

磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 μm,定子线圈线宽10μm、厚度5μm,悬浮励磁频率10 MHz、旋转励磁频率2 MHz的微陀螺,解决了三维非硅准LiGA技术加工微陀螺中的引线、绝缘、摩擦柱成型问题,并进行了相关的陀螺悬浮旋转试验,该陀螺在空气环境下能够以1000 r/min旋转,悬浮高度200μm,说明这种陀螺的原理和设计方法是可行的.

关键词：磁悬浮转子微陀螺 MEMS 设计准LiGA技术试验

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电沉积纳米锌层的研究

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电化学 2004年第1期10卷 107-111页

作者：曹莹沈天慧姚锦元丁桂甫薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

　采用XRD研究和场发射电镜(FEG＿TEM)电沉积锌镀层纳米改性,分别观察并分析纳米镀锌层的结晶形态及其晶粒尺寸,根据镀层极化曲线和中性盐雾试验测定,结果表明,纳米镀锌层的抗腐蚀性能优于其它镀层.

关键词：电沉积纳米锌层结晶形态晶粒尺寸抗腐蚀性能家用轿车表面装饰技术镀锌钢板

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