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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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- 25 篇 应用经济学
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7 篇 法学
6 篇 文学
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主题

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42 篇 mems
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机构

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749 篇 中国科学院大学
553 篇 中国科学院研究生...
369 篇 中国科学院上海微...
316 篇 中科院上海微系统...
285 篇 上海科技大学
242 篇 上海无线通信研究...
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140 篇 中国科学院上海微...
128 篇 上海交通大学
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101 篇 中国科学院上海微...
94 篇 上海微系统与信息...
94 篇 中国电子技术标准...
93 篇 上海新安纳电子科...
76 篇 浙江大学
61 篇 复旦大学
60 篇 无锡物联网产业研...

作者

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600 篇 赵建龙
575 篇 王曦
551 篇 王跃林
440 篇 谢晓明
416 篇 封松林
394 篇 李昕欣
374 篇 欧欣
319 篇 刘波
285 篇 孙晓玮
265 篇 卜智勇
253 篇 张苗
236 篇 陈静
231 篇 尤立星
229 篇 金庆辉
228 篇 刘卫丽
226 篇 熊斌
212 篇 王永良
210 篇 张永刚
204 篇 曹俊诚

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一种可单模双模工作的量子阱阵列探测器

一种可单模双模工作的量子阱阵列探测器

引用

作者：王长郑永辉张真真曹俊诚 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种可单模双模工作的量子阱阵列探测器，自上而下包括上电极层、GaAs有源区和下电极层；所述GaAs有源区分布有数个微腔阵列单元；所述微腔阵列单元的顶层为上金属电极(5)，每一排所述上金属电极(5)两两之间通过二级阶梯型微... 详细信息

标准号: CN116314395A

本发明涉及一种可单模双模工作的量子阱阵列探测器，自上而下包括上电极层、GaAs有源区和下电极层；所述GaAs有源区分布有数个微腔阵列单元；所述微腔阵列单元的顶层为上金属电极(5)，每一排所述上金属电极(5)两两之间通过二级阶梯型微带线连接，形成上电极层；所述上金属电极(5)具有若干条可调整角度的缺陷。本发明利用耦合机制的调控，可实现量子阱阵列探测器单模、双模两种探测模式，具有更好的市场应用前景。

关键词：上金属电极阵列探测器微腔阵列电极层量子阱单模双模源区市场应用探测模式下电极层耦合机制阶梯型可调整微带线顶层调控

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通感算一体时频资源动态优化接入冲突消除方法及装置

通感算一体时频资源动态优化接入冲突消除方法及装置

引用

作者：朱磊基赵凯伍海一姚炜熊勇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种通感算一体时频资源动态优化接入冲突消除方法和装置，其中网关侧以频段宽度将可用通信频段划分为若干相互独立频段，在每个独立频段内，以若干个动态可变的时隙组成一段接入请求处理时间窗；同时维护独立频段编号、对应... 详细信息

标准号: CN116600390A

本发明涉及一种通感算一体时频资源动态优化接入冲突消除方法和装置，其中网关侧以频段宽度将可用通信频段划分为若干相互独立频段，在每个独立频段内，以若干个动态可变的时隙组成一段接入请求处理时间窗；同时维护独立频段编号、对应独立频段内时隙状态、对应独立频段内时隙冲突管理队列和对应独立频段内数据发送管理队列，并通过公共频段下发上述消息给节点，完成节点的接入请求与数据发送；节点侧根据节点接入网关的类型分类启动接入申请处理机制。本发明使得节点在保证收发无线数据时效性的同时，最大限度降低网络接入冲突，为节点提供稳定的无线通信接入。

关键词：频段接入请求数据发送管理队列无线通信接入方法和装置动态可变动态优化公共频段管理队列接入冲突节点接入节点提供可用通信申请处理时频资源时隙冲突时隙状态数据发送网络接入无线数据时间窗时效性网关侧网关收发分类冲突保证维护

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一种基于分形电极的碳管气体传感器

一种基于分形电极的碳管气体传感器

引用

作者：丁鹏飞刘欢贺庆国程建功 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种基于分形电极的碳管气体传感器，所述碳管气体传感器包括：分形电极(1,2)，所述分形电极(1,2)沉积在单晶硅片(5)两侧；取向有序的碳纳米管(6)，所述碳纳米管(6)沉积在单晶硅片(5)的两个分形电极(1,2)之间；敏感材料(7)，... 详细信息

标准号: CN116256399A

本发明涉及一种基于分形电极的碳管气体传感器，所述碳管气体传感器包括：分形电极(1,2)，所述分形电极(1,2)沉积在单晶硅片(5)两侧；取向有序的碳纳米管(6)，所述碳纳米管(6)沉积在单晶硅片(5)的两个分形电极(1,2)之间；敏感材料(7)，所述敏感材料(7)和碳纳米管(6)相互复合，作为检测气体的敏感层。本发明提供了一种三维分形电极，碳管可以在分形角的强电场下诱导从而取向有序生长，得到的传感器具有高的迁移率和高的灵敏度。

关键词：电极分形碳纳米管碳管气体传感器单晶硅片敏感材料取向沉积三维分形灵敏度敏感层迁移率传感器强电诱导复合检测生长

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一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极及其制备方法

一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极及其制备方法

引用

作者：张凯欢于洪权吴阳江 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极，包括图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层彼此贴合而形成的多个旋转对称部分，每个旋转对称部分包括沿着第一方向依次排布的四周边缘部、第一电极固定部、中心电极部和第二电... 详细信息

标准号: CN116942168A

本发明提供一种可贴合类器官进行信号采集的神经电极，包括图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层彼此贴合而形成的多个旋转对称部分，每个旋转对称部分包括沿着第一方向依次排布的四周边缘部、第一电极固定部、中心电极部和第二电极固定部，所述中心电极部上设有多个平行等间隔且贯穿所述图案化镂空柔性衬底和图案化镂空柔性封装层的第一类栅栏开口，所述旋转对称部分的一侧表面上在第一类栅栏开口以外的位置设有接触电极，所述四周边缘部上设有多个焊盘部，每个接触电极通过一条金属引线连接到一个焊盘部。本申请还提供其制备方法。本发明的神经电极实现了高通道记录，与类脑器官可以较好贴合，并具有高度的生物相容性。

关键词：镂空图案化旋转对称贴合柔性封装层四周边缘部接触电极神经电极中心电极固定部焊盘部衬底栅栏开口器官生物相容性第二电极第一电极金属引线通道记录信号采集等间隔排布制备平行贯穿申请

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一种MEMS差热分析传感器及DTA/DSC测试方法

一种MEMS差热分析传感器及DTA/DSC测试方法

引用

作者：贾浩李昕欣许鹏程张昊智 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种MEMS差热分析传感器及DTA/DSC测试方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多... 详细信息

标准号: CN116297647A

本发明提供一种MEMS差热分析传感器及DTA/DSC测试方法，该传感器包括检测热电堆、参考热电堆、环境电阻、屏蔽环，检测热电堆及参考热电堆均包括单晶硅衬底、隔热空腔、多个单晶硅热偶对及支撑膜，其中，隔热空腔位于单晶硅衬底内，多个单晶硅热偶对串联连接且通过支撑膜支撑以悬设于隔热空腔之上实现热隔离，单晶硅热偶对包括串联的N型单晶硅热偶及P型单晶硅热偶，该传感器的温度及功率灵敏度显著提升，达到28mV/K和100V/W，并且噪声等效温差和噪声等效功率达到0.5mK或0.2μW。基于该传感器的输出信号能够实现对材料吸放热的物理或化学过程进行差热分析测试和差式扫描量热分析测试，样品用量少、测试精度高。

关键词：单晶硅热偶热电堆传感器隔热空腔差热分析支撑膜测试衬底差式扫描量热噪声等效功率噪声等效温差功率灵敏度分析测试化学过程环境电阻输出信号样品用量参考屏蔽环热隔离检测放热悬设串联支撑

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一种碳化硅场效应管的制备方法

一种碳化硅场效应管的制备方法

引用

作者：伊艾伦欧欣周民 200050 上海市长宁区长宁路865号

本申请公开了一种碳化硅场效应管的制备方法，所述方法包括提供第一碳化硅衬底，在第一碳化硅衬底上外延碳化硅外延层；将轻离子注入碳化硅外延层，轻离子在碳化硅外延层内形成离子集聚区域，使得碳化硅外延层依次形成碳化硅薄膜层、离... 详细信息

标准号: CN116646250A

本申请公开了一种碳化硅场效应管的制备方法，所述方法包括提供第一碳化硅衬底，在第一碳化硅衬底上外延碳化硅外延层；将轻离子注入碳化硅外延层，轻离子在碳化硅外延层内形成离子集聚区域，使得碳化硅外延层依次形成碳化硅薄膜层、离子集聚区和碳化硅键合层；提供第二碳化硅衬底，对第二碳化硅衬底与碳化硅键合层相互接触的表面进行导电处理；将第二碳化硅衬底与碳化硅键合层进行晶圆键合；将碳化硅键合层与离子集聚区域剥离，得到第一碳化硅衬底、碳化硅薄膜层和离子集聚区域形成的第一衬底结构以及第二碳化硅衬底与碳化硅键合层形成的第二衬底结构，并对第一衬底结构进行回收处理；基于第二衬底结构进行场效应管的制备，得到碳化硅场效应管。

关键词：碳化硅衬底碳化硅键合层衬底结构碳化硅外延层离子场效应管碳化硅薄膜集聚轻离子制备外延碳化硅导电处理回收处理晶圆键合区域形成集聚区外延层剥离申请

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氧化镓异质集成结构及制备方法

氧化镓异质集成结构及制备方法

引用

作者：欧欣瞿振宇游天桂徐文慧赵天成 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种氧化镓异质集成结构及制备方法，通过对异质集成的氧化镓复合结构进行表面刻蚀，以基于NaOH溶液或KOH溶液对材料的各向异性刻蚀，在氧化镓复合结构的表面留下具有凹槽的绒面结构，以增加器件的总体有效散热面积，增强了... 详细信息

标准号: CN116631847A

本发明提供一种氧化镓异质集成结构及制备方法，通过对异质集成的氧化镓复合结构进行表面刻蚀，以基于NaOH溶液或KOH溶液对材料的各向异性刻蚀，在氧化镓复合结构的表面留下具有凹槽的绒面结构，以增加器件的总体有效散热面积，增强了基于此制备的氧化镓基器件的散热能力，以解决氧化镓基器件的散热问题，提高氧化镓基器件的使用寿命。

关键词：氧化镓基器件复合结构异质制备各向异性刻蚀有效散热面积表面刻蚀集成结构绒面结构散热能力散热问题使用寿命

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一种声表面波谐振器仿真方法及系统

一种声表面波谐振器仿真方法及系统

引用

作者：欧欣隋东辰张师斌姚虎林郑鹏程 200050 上海市长宁区长宁路865号

本申请公开一种声表面波谐振器仿真方法及系统，包括获取待仿真的声表面波谐振器的横向切片模型，确定横向切片模型中的镜像部分和非镜像部分；从镜像部分和非镜像部分各自提取预设层网格，得到镜像单元和非镜像单元；对于非镜像单元，... 详细信息

标准号: CN115618693A

本申请公开一种声表面波谐振器仿真方法及系统，包括获取待仿真的声表面波谐振器的横向切片模型，确定横向切片模型中的镜像部分和非镜像部分；从镜像部分和非镜像部分各自提取预设层网格，得到镜像单元和非镜像单元；对于非镜像单元，利用有限单元法对非镜像单元的网格进行组装，得到有限元的系统矩阵作为第一矩阵；对第一矩阵进行排序处理，施加电势约束和周期条件得到第二矩阵；对于镜像单元，对第二矩阵进行对称处理得到第三矩阵；对第二矩阵和第三矩阵进行级联，得到声表面波滤波器的横向切片模型的仿真模型。本申请可针对拼接面不一致的情况进行级联，减少所需有限元仿真单元，加快横向切片模型的仿真速度，并提高仿真结果的准确性。

关键词：矩阵非镜像切片声表面波谐振器镜像单元网格级联声表面波滤波器仿真单元仿真结果仿真模型排序处理系统矩阵周期条件不一致单元法拼接面预设层电势申请对称组装施加

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一种改性电极及其制备方法和用途

一种改性电极及其制备方法和用途

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作者：王雪凤苏莉施嘉慈许鹏程李昕欣 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途，所述改性电极包括电极，所述电极的工作区域覆盖有复合材料层，所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极，基于电化学... 详细信息

标准号: CN113267546B

本发明提供一种改性电极及其制备方法和用途，所述改性电极包括电极，所述电极的工作区域覆盖有复合材料层，所述复合材料层为含有银铂合金纳米颗粒和还原氧化石墨烯的高分子聚合物膜层。本发明提供一种简单有效的改性电极，基于电化学技术与丝网印刷电极，能够快速准确的检测液体中甲醛含量；测定方法简便快捷，无需复杂的仪器操作和前处理过程；检测成本低，甚至改性电极可一次性使用；检出时间快，仅需100秒就能完成测试；具有良好的灵敏度，可满足饮料中甲醛含量测试的要求。

关键词：改性电极复合材料层电极甲醛高分子聚合物膜还原氧化石墨烯工作区域覆盖丝网印刷电极电化学技术含量测试检测液体纳米颗粒仪器操作银铂合金灵敏度前处理检出制备饮料测试检测

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一种非线性优化紧凑的大特征尺寸绝热功率分配器

一种非线性优化紧凑的大特征尺寸绝热功率分配器

引用

作者：武爱民吴龙生冯大增 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种非线性优化紧凑的大特征尺寸绝热功率分配器。该功率分配器自下而上包括衬底、埋氧层、顶层、包层，所述顶层的两侧进行刻蚀，所述刻蚀的厚度小于顶层厚度，从而形成脊波导，所述脊波导采用锥形交错波导结构，所述锥形交... 详细信息

标准号: CN116404388A

本发明涉及一种非线性优化紧凑的大特征尺寸绝热功率分配器。该功率分配器自下而上包括衬底、埋氧层、顶层、包层，所述顶层的两侧进行刻蚀，所述刻蚀的厚度小于顶层厚度，从而形成脊波导，所述脊波导采用锥形交错波导结构，所述锥形交错波导结构包括上下两根波导和中间波导，在锥形交错部分上下两根波导和中间波导被分成几段，中间波导两边段的宽度变化斜率大于中间段的宽度变化斜率。该功率分配器在锥形交错部分采用了分段优化的方法，分段优化的目的是提高器件的绝热性，亦即降低加工误差带来的器件性能衰减和降低波长敏感性，另外还可以一定程度上降低器件尺寸和降低损耗。

关键词：波导功率分配器交错顶层波导结构宽度变化脊波导刻蚀分段波长敏感性非线性优化绝热加工误差降低器件器件性能绝热性埋氧层中间段包层衬底衰减紧凑优化两边

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