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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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2,990 篇 期刊文献
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- 141 篇 管理科学与工程(可...
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25 篇 经济学
- 24 篇 应用经济学
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主题

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78 篇 相变存储器
78 篇 太赫兹
68 篇 量子级联激光器
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50 篇 soi
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43 篇 微机电系统
42 篇 镁合金
40 篇 微流控芯片
35 篇 离子注入
35 篇 毫米波
34 篇 传感器
34 篇 电化学性能
33 篇 石墨烯
32 篇 储氢合金
32 篇 mems
31 篇 应用
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机构

10,646 篇 中国科学院上海微...
685 篇 中国科学院大学
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374 篇 中国科学院上海微...
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231 篇 上海无线通信研究...
178 篇 上海微小卫星工程...
123 篇 上海大学
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110 篇 上海新傲科技股份...
93 篇 上海微系统与信息...
93 篇 上海新安纳电子科...
60 篇 NOT FOUND
58 篇 复旦大学
56 篇 中国电子技术标准...
54 篇 浙江大学
53 篇 中国科学院超导电...
50 篇 华东师范大学
49 篇 信息功能材料国家...

作者

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432 篇 王跃林
412 篇 封松林
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258 篇 张苗
241 篇 陈静
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227 篇 刘卫丽
218 篇 张永刚
216 篇 王永良
205 篇 曹俊诚
197 篇 孔祥燕
193 篇 熊斌

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一种单片集成电光调制器及制备方法

一种单片集成电光调制器及制备方法

引用

作者：欧欣王成立蔡佳辰 200050 上海市长宁区长宁路865号

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种单片集成电光调制器及制备方法。电光调制器包括：衬底、电光材料层、折射率调控结构和电极层；电光材料层集成在衬底上，电光材料层中形成有光传输波导；折射率调控结构包括介电材料层，介电材... 详细信息

标准号: CN117950215A

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种单片集成电光调制器及制备方法。电光调制器包括：衬底、电光材料层、折射率调控结构和电极层；电光材料层集成在衬底上，电光材料层中形成有光传输波导；折射率调控结构包括介电材料层，介电材料层设置在电光材料层上；电极层设置在介电材料层上。该电光调制器，通过在电光调制器中设计折射率调控结构来对微波的有效折射率进行调控，使其能够与光波的有效折射率匹配，从而实现了高传输速率、低能耗的单片集成高速电光调制器。

关键词：电光材料层电光调制器介电材料层调控结构折射率有效折射率单片集成电极层衬底半导体技术领域高速电光调制器光传输波导光波低能耗制备匹配微波传输调控申请

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基于钽酸锂的电光调制器件及制备方法

基于钽酸锂的电光调制器件及制备方法

引用

作者：欧欣蔡佳辰王成立 200050 上海市长宁区长宁路865号

本申请提供一种基于钽酸锂的电光调制器件及制备方法，所述电光调制器件包括：衬底；位于所述衬底上的光学器件层；所述光学器件层为对形成在所述衬底上的钽酸锂薄膜层进行刻蚀得到；位于所述光学器件层上的保护层；位于保护层上的槽型... 详细信息

标准号: CN117950214A

本申请提供一种基于钽酸锂的电光调制器件及制备方法，所述电光调制器件包括：衬底；位于所述衬底上的光学器件层；所述光学器件层为对形成在所述衬底上的钽酸锂薄膜层进行刻蚀得到；位于所述光学器件层上的保护层；位于保护层上的槽型电极层；其中，所述槽型电极层的槽型电极设置有至少两个空气槽，相邻两个所述空气槽的间距为10um～100um，所述空气槽的宽度为2～30um，所述空气槽的长度为4～30um。通过在电光调制器中的行波电极设计空气槽对微波的有效折射率进行调控，使其能够与光波的有效折射率匹配。

关键词：空气槽槽型电极光学器件衬底电光调制器件有效折射率保护层钽酸锂薄膜层电光调制器行波电极光波钽酸锂刻蚀制备匹配微波调控申请

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SFQ时序电路综合计算方法、系统以及终端

SFQ时序电路综合计算方法、系统以及终端

引用

作者：任洁杨树澄高小平王镇 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明的SFQ时序电路综合计算方法、系统以及终端，分别对SFQ逻辑门状态机的状态机描述分别进行解释以及编译获得该状态机的状态转移集合信息，并对所述状态转移集合信息分解为一或多个子状态机，并将各子状态机与SFQ逻辑单元库中的各... 详细信息

标准号: CN113095015B

本发明的SFQ时序电路综合计算方法、系统以及终端，分别对SFQ逻辑门状态机的状态机描述分别进行解释以及编译获得该状态机的状态转移集合信息，并对所述状态转移集合信息分解为一或多个子状态机，并将各子状态机与SFQ逻辑单元库中的各单元门进行映射，并基于各子状态机的映射结果，对各子状态机进行重组，以获得SFQ时序逻辑电路结构。本发明利用了SFQ逻辑门自有的优势，直接完成从SFQ逻辑门状态机到SFQ时序电路的逻辑映射，减少了中间模拟CMOS逻辑门、组成CMOS时序状态机的两步操作，提高了SFQ时序电路的逻辑综合成功率以及对SFQ单元库的利用率，使SFQ时序电路的大规模自动化设计更加高效，并解决现有技术的问题。

关键词：时序电路逻辑门状态机子状态机集合信息状态转移时序逻辑电路时序状态机状态机描述自动化设计逻辑单元逻辑映射逻辑综合模拟CMOS 映射结果综合计算单元库单元门映射成功率编译终端分解

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一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法和由此得到的薄膜及其应用

一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法和由此得到的薄膜及其应用

引用

作者：张丽平李振飞刘正新孟凡英石建华韩安军杜俊霖 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法，其包括提供衬底并在该衬底上生长具有掺杂元素的轻掺杂型硅基薄膜，通过掺杂气体形成富含激活掺杂元素的氛围，在该氛围下对轻掺杂型硅基薄膜进行后处理以形成重掺杂型硅基薄膜，重掺杂型硅... 详细信息

标准号: CN111312859B

本发明涉及一种重掺杂型硅基薄膜的制备方法，其包括提供衬底并在该衬底上生长具有掺杂元素的轻掺杂型硅基薄膜，通过掺杂气体形成富含激活掺杂元素的氛围，在该氛围下对轻掺杂型硅基薄膜进行后处理以形成重掺杂型硅基薄膜，重掺杂型硅基薄膜的掺杂元素含量大于轻掺杂型硅基薄膜的掺杂元素含量。本发明还提供上述的制备方法得到的重掺杂型硅基薄膜。本发明又提供上述的重掺杂型硅基薄膜在异质结晶体硅太阳电池上的应用。根据本发明的重掺杂型硅基薄膜的制备方法，能够提高硅基薄膜的掺杂效率，对进一步获得高效率异质结晶体硅太阳电池具有突出的意义。

关键词：硅基薄膜重掺杂掺杂元素轻掺杂制备结晶体硅太阳电池衬底异质后处理掺杂气体高效率富含掺杂激活生长应用

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一种高频声波谐振器及应用其的滤波器

一种高频声波谐振器及应用其的滤波器

引用

作者：欧欣吴进波张师斌郑鹏程张丽萍 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及微电子技术领域，本发明公开了一种高频声波谐振器及应用其的滤波器。该高频声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、底电极、压电薄膜和叉指换能器；该叉指换能器包括第一汇流条和多个间隔设置的第一电极；该多个第一电... 详细信息

标准号: CN115021705B

本发明涉及微电子技术领域，本发明公开了一种高频声波谐振器及应用其的滤波器。该高频声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、底电极、压电薄膜和叉指换能器；该叉指换能器包括第一汇流条和多个间隔设置的第一电极；该多个第一电极的同一侧与该第一汇流条连接；该多个第一电极中相邻的第一电极的中心之间的间隔距离与目标模式的频率之积小于该支撑衬底的声速；该目标模式为该高频声波谐振器在纵向电场作用下激发的高阶模式；本申请提供的该声波谐振器建立在异质集成衬底上，具有结构简单且压电薄膜强度高，仍能够保证声波谐振器的品质的特点。

关键词：第一电极高频声波谐振器衬底叉指换能器声波谐振器目标模式压电薄膜汇流条滤波器微电子技术领域高阶模式间隔距离间隔设置依次层叠纵向电场底电极异质支撑激发申请应用保证

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一种声学谐振器及其制备方法

一种声学谐振器及其制备方法

引用

作者：欧欣姚虎林张师斌郑鹏程吴进波 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及微电子器件技术领域，本发明提供一种声学谐振器及其制备方法。该声学谐振器由于在第一支撑层内设有弹性波陷阱结构；弹性波陷阱结构的弹性力学参数与支撑衬底的材料的弹性力学参数不相等，该弹性波陷阱结构可以阻碍谐振器工... 详细信息

标准号: CN114362709B

本发明涉及微电子器件技术领域，本发明提供一种声学谐振器及其制备方法。该声学谐振器由于在第一支撑层内设有弹性波陷阱结构；弹性波陷阱结构的弹性力学参数与支撑衬底的材料的弹性力学参数不相等，该弹性波陷阱结构可以阻碍谐振器工作模式向衬底的传播，将能量约束在衬底上方压电薄膜上表面处，从而减少了声波能量向衬底的泄漏，可以提高器件的品质因数，并拓宽了谐振器工作模式的选择范围，提高了工作频率和带宽。

关键词：衬底陷阱结构弹性波声学谐振器弹性力学工作模式谐振器微电子器件工作频率能量约束品质因数声波能量压电薄膜不相等上表面支撑层制备泄漏带宽阻碍支撑传播

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旁路式微热导检测器及其制备方法

旁路式微热导检测器及其制备方法

引用

作者：冯飞陈泊鑫 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种旁路式微热导检测器及其制备方法，在微热导检测器中设置与微沟道相连通的旁路沟道，并设置悬挂于旁路沟道中的具有热导检测元件的热导检测元件支撑结构，可避免气体直接冲击热导检测元件，从而可降低强制对流在传热机制... 详细信息

标准号: CN117825597A

本发明提供一种旁路式微热导检测器及其制备方法，在微热导检测器中设置与微沟道相连通的旁路沟道，并设置悬挂于旁路沟道中的具有热导检测元件的热导检测元件支撑结构，可避免气体直接冲击热导检测元件，从而可降低强制对流在传热机制中的占比，进而降低闭合沟道中气体流速变化对热导检测元件的影响，提高微热导检测器的信噪比及检测准确度。

关键词：热导检测旁路检测器沟道微热元件支撑结构热导检测器闭合沟道传热机制气体流速强制对流准确度微沟道制备悬挂

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一种大口径多波长偏振复用超透镜设计方法

一种大口径多波长偏振复用超透镜设计方法

引用

作者：李伟商祥烁黄海阳李娜李顺尧 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明涉及一种大口径多波长偏振复用超透镜设计方法，包括以下步骤：采用偏振敏感型超构表面结构作为超构表面单元；通过仿真软件进行参数扫描，得到所述超构表面单元的相位调控、透过率调控能力与所述超构表面单元参数的关系，并形成... 详细信息

标准号: CN117539058A

本发明涉及一种大口径多波长偏振复用超透镜设计方法，包括以下步骤：采用偏振敏感型超构表面结构作为超构表面单元；通过仿真软件进行参数扫描，得到所述超构表面单元的相位调控、透过率调控能力与所述超构表面单元参数的关系，并形成参数空间；计算超透镜上给定位置(x,y)处的相位，并从所述参数空间中寻找合适的结构进行填充，得到工作在单个波长的超构表面阵列；将两个工作在单个波长的超构表面阵列稀疏化，并集成到一片超构表面上，得到在两个工作波长下均实现预期功能的多波长偏振复用超构表面透镜。本发明能够在不增加系统复杂度的情况下扩大超透镜的口径。

关键词：表面单元透镜表面阵列参数空间偏振复用多波长波长表面结构表面透镜参数扫描调控能力仿真软件给定位置工作波长偏振敏感透镜设计增加系统大口径复杂度透过率稀疏填充口径调控

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多量程超导量子干涉仪及其读出方法、读出电路

多量程超导量子干涉仪及其读出方法、读出电路

引用

作者：伍俊王永良荣亮亮张国峰罗嘉炜 200050 上海市长宁区长宁路865号

本发明提供一种多量程超导量子干涉仪及其读出方法、读出电路，根据检测要求确定量程范围，将量程范围对应的反馈电阻切入多量程超导量子干涉仪的测试通道，同时减小所述测试通道的开关导通电阻，以提高所述多量程超导量子干涉仪的线性... 详细信息

标准号: CN118275948A

本发明提供一种多量程超导量子干涉仪及其读出方法、读出电路，根据检测要求确定量程范围，将量程范围对应的反馈电阻切入多量程超导量子干涉仪的测试通道，同时减小所述测试通道的开关导通电阻，以提高所述多量程超导量子干涉仪的线性度。本发明的多量程超导量子干涉仪及其读出方法、读出电路可以很方便地提高多量程超导量子干涉仪读出电路的线性度；同时，本发明的多量程超导量子干涉仪及读出电路实现简单，非常适合在航磁测量等超导电子领域中应用。

关键词：多量程超导量子干涉仪读出电路超导量子干涉测试通道线性度量程读出超导电子反馈电阻开关导通磁测量电阻减小切入检测应用

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一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针

一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针

引用

作者：陶虎孙鎏炀田野 200050 上海市长宁区长宁路865号

本申请涉及微针制造技术领域，特别涉及一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针。本申请采用图案化刻蚀法对蛋白薄膜进行刻蚀，以制备蛋白微针，具有微针边缘光滑、成品率高、加工均一性好，适用于大规模生产等优点。

标准号: CN117797332A

关键词：微针蛋白刻蚀制备边缘光滑蛋白薄膜成品率均一性图案化申请加工制造

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