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语言

  • 98 篇 中文
检索条件"机构=专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学微电子学院"
98 条 记 录,以下是61-70 订阅
排序:
一种EPC Gen2 RFID标签时钟校准方法(英文)
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复旦学报(自然科学版) 2011年 第4期50卷 395-401,409页
作者: 杨松川 罗恰嗣 俞军 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433 电子科技大学微电子与固体电子学院 成都610054
设计了一种对Gen2 RFID标签的振荡器产生的时钟信号进行校准的方法,以解决以下问题:因受到工艺偏差的影响,EPC Gen2 RFID标签的振荡器的时钟频率可能与设计时的标称值有偏差,导致标签不能满足协议的要求,或导致标签功耗过大性能下降.该... 详细信息
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射频集成电路用高性能金属—绝缘体—金属电容的研究
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功能材料与器件学报 2014年 第1期20卷 13-19页
作者: 张秋香 朱宝 丁士进 专用集成电路与系统国家重点实验室 复旦大学微电子学院上海200433 上海建桥学院电子工程系 上海201315
随着无线通讯技术的快速发展,高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器已引起人们的极大关注,成为下一代射频集成电路的必然选择。本文从MIM电容的技术背景、制备方法、绝缘介质的设计以及电极材料几个方面,对MIM电容器件的研究进展进行了较... 详细信息
来源: 评论
A Three-Stage Operational Amplifier for a Wide Range of Capacitive Loads
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Journal of Semiconductors 2007年 第11期28卷 1685-1689页
作者: 胡晶晶 Huijsing J H 任俊彦 上海复旦大学微电子学系专用集成电路与系统国家重点实验室 上海201203 荷兰代尔夫特理工大学电子仪器实验室
This paper presents a three-stage CMOS operational amplifier (opamp) that combines accuracy with stability for a wide range of capacitive loads. A so-called quenching capacitor is added to a multipath nested Miller ... 详细信息
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N2和NH3退火对铪铝氧栅介质C-V特性的影响
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固体电子学研究与进展 2009年 第2期29卷 179-182,248页
作者: 施煜 刘晗 董琳 孙清清 丁士进 叶培德 张卫 复旦大学专用集成电路国家重点实验室 微电子学系上海200433 美国普度大学电气与计算机工程学院 美国印第安纳州47907
采用原子层淀积(ALD)的方法在Si(100)衬底上制备了铪铝氧(HfAlO)高介电常数介质,并研究了N2和NH3退火对于介质薄膜的影响。改变原子层淀积的工艺,制备了三组含有不同Al∶Hf原子比的铪铝氧(HfAlO)高介电常数介质。电容电压特性(C-V)测试... 详细信息
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光刻机运动台控制方法研究进展
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激光与光电子学进展 2022年 第9期59卷 35-47页
作者: 姜龙滨 丁润泽 丁晨阳 杨晓峰 徐云浪 复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心 上海200433 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433
光刻机是支撑集成电路芯片制程不断减小的关键设备,而高性能的光刻机需要高加速度和高精度的运动台作为支撑。为了达到光刻机的各项工作指标,高性能的运动台控制方法必不可少。本文针对光刻机运动台的主流控制方法进行了梳理和介绍,首... 详细信息
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铪基铁电薄膜及其隧道结存储器件研究
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湘潭大学学报(自然科学版) 2019年 第5期41卷 78-84页
作者: 察明扬 陈佩瑶 陈琳 朱颢 孙清清 张卫 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
在信息技术高度发达的今天,传统的信息存储技术正面临着诸多挑战,铁电隧道结等新兴存储器受到了越来越广泛的关注.基于氧化铪材料的铁电隧道结存储器具有读写快、能耗低、与传统CMOS工艺兼容等优势.该文制备了两种底电极的铪锆氧铁电隧... 详细信息
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系统工程方法及其在先进半导体装备领域的应用
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激光与光电子学进展 2022年 第9期59卷 427-437页
作者: 殳峰 许智磊 何乐 杨晓峰 复旦大学工程与应用技术研究院 上海200433 上海交通大学清源研究院 上海200240 上海微电子装备(集团)股份有限公司 上海201203 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433
系统工程方法在国内外以航空航天、国防科技和船舶工程等为代表的复杂设备系统的研发中发挥了重要作用。针对以光刻机为代表的先进半导体装备的研发,发展和提升以正向设计引领、以系统工程方法为指导的自主创新和设计制造一体化能力显... 详细信息
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Modified Reynolds Equation for Squeeze-Film Air Damping of Slotted Plates in MEMS Devices
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Journal of Semiconductors 2006年 第3期27卷 473-477页
作者: 孙远程 鲍敏杭 杨恒 黄宜平 复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上海200433 中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200030
A differential equation for calculating squeeze-film air damping in slotted plates is developed by modifying the Reynolds equation. A term is added to account for the effect of airflow through the slots on the air dam... 详细信息
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一种特殊数字滤波器的优化结构
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微电子学 2018年 第4期48卷 429-432页
作者: 张幸幸 陆继承 李夏禹 俞军 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室 上海200433 复旦大学微电子学院 上海200433 上海复旦微电子集团股份有限公司 上海200433
提出一种特殊数字滤波器的结构优化方案,可以简化滤波器结构、节省电路面积。将该方案应用于解调ISO/IEC 14443协议规定的PICC到PCD的副载波调制信号。在此基础上,改变子滤波器的位置,将长延迟链前移,减少了长延时链的数据位宽。综合结... 详细信息
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两路信号控制的液滴单向运输数字微流控芯片
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传感器与微系统 2019年 第8期38卷 65-68页
作者: 盛文洁 王续博 周嘉 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室
介质上的电润湿(EWOD)数字微流控芯片的设计中,随着电极数量的增加,需要更多的控制信号,引出导线的设计复杂程度将会显著增加。根据接触线理论,提出一种运输方向上非对称的电极设计,使液滴两侧的电极同时加电压时,施加在液滴两侧的电润... 详细信息
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