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  • 420 篇 中文
检索条件"机构=中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050"
420 条 记 录,以下是221-230 订阅
排序:
基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路
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传感器与微系统 2011年 第2期30卷 101-103,106页
作者: 孙腾 车录锋 黎晓林 吴健 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
高Q值加速度计由于能够很好地降低热机械布朗噪声,被广泛应用于高精度低噪声检测领域,相应的闭环接口电路却成为其应用的困难之一。通过分析传感器的器件结构和动态响应,提出了一种基于PID反馈的闭环检测电路来克服传感器因高Q值造成的... 详细信息
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多目标拓扑优化设计在纳米定位平台中的应用
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压电与声光 2011年 第2期33卷 228-231页
作者: 陈立国 张洋 陈涛 荣伟彬 孙立宁 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
纳米定位平台在微型机械和精密仪器的设计和制造领域起着重要作用。该文将拓扑优化引入到压电陶瓷驱动的一维纳米定位平台设计中,并利用多目标设计方法对平台的运动和结构需求进行了优化,采用楔形预紧结构对压电陶瓷进行紧密预紧。经有... 详细信息
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基于表面微机械技术的压阻式加速度传感
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仪表技术传感 2011年 第11期 4-7页
作者: 魏长征 周伟 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工... 详细信息
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基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
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半导体技术 2011年 第8期36卷 577-581页
作者: 陈琳 李伟 戈肖鸿 车录锋 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
设计并制作了一种新型的基于Si塑性变形的二维驱动器,驱动器由外围垂直驱动和内部水平驱动两部分组成。驱动器的制作采用普通Si片Si-Si键合技术,首先在结构片正面制作出绝缘填充槽,以实现垂直驱动部分和水平驱动部分的电绝缘,然后利用DR... 详细信息
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微量试剂分配压电叠堆泵的设计与实验
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压电与声光 2011年 第3期33卷 382-385,389页
作者: 陈立国 邵超 刘德利 陈涛 朱永杨 哈尔滨工业大学机器人研究所 黑龙江哈尔滨150001 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室 上海200050
设计、研制了进行微量、快速、精确试剂分配的压电叠堆泵,研究了压电叠堆泵的结构及工作原理,利用解析法和有限元仿真分析法对泵膜、位移放大机构的静态、动态特性进行了分析和研究,并研究了关键参数对泵性能的影响。对样机进行实验研究... 详细信息
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低热机械噪声的梳齿式加速度计
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仪表技术传感 2011年 第10期 21-23页
作者: 杨丹琼 徐静 钟少龙 李四华 吴亚明 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
文中介绍了一种基于低噪声梳齿变面积型加速度计。采用体硅加工工艺,利用SOI材料30μm顶层硅制造垂直梳齿,梳齿数目达200对,提高了初始电容,能够充分利用尺寸空间,获得具有低噪特性的加速度计。该种形式的加速度计不需要真空封装,也不... 详细信息
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反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
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半导体技术 2011年 第1期36卷 26-30页
作者: 戚玉婕 车录锋 孙腾 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建... 详细信息
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基于集成参比电极的多参数水质监测微传感器阵列研制
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传感器与微系统 2011年 第10期30卷 99-101,105页
作者: 张缓缓 刘彬 金庆辉 刘咏松 浙江理工大学理学院 浙江杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
研究了一种基于MEMS工艺制备的集成微电极型传感器,并用电化学修饰方法将Ag/AgCl参比电极集成在传感器上,用于水体中温度、电导率和氧化还原电位的测定。Pt温度传感器的电阻与温度的线性关系良好,满足温度测量精度的需求;比较法确定电... 详细信息
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肿瘤微血管芯片的制备及其应用
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功能材料与器件学报 2011年 第5期17卷 505-512页
作者: 翟万银 吴蕾 贾春平 邵建波 徐元森 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200068 中国科学院研究生院 北京100049 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海200050
肿瘤血管结构不同于正常组织血管,由内皮细胞松散地围成不完整的管道,呈高通透性。为建立体外简便、有效、低廉的肿瘤血管模型,本研究采用微加工技术,制作了肿瘤血管微流控芯片。芯片包括24 mm长50μm宽40μm深的微管道和一侧的微腔体... 详细信息
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溶解氧的测定
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化学传感 2011年 第4期31卷 39-43页
作者: 刘彬 张缓缓 金庆辉 刘咏松 浙江理工大学理学院 浙江杭州310018 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050
在环境水质监测和医学上,溶解氧都是一个非常重要的指数。因此如何准确快速地测定溶解氧的值,对于指导很多领域的工作都是很有现实意义的。从溶解氧的现行方法出发,重点介绍了以传感器为核心的溶解氧测定方法及其优越性,展望了基于MEMS... 详细信息
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