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作者

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语言

  • 93 篇 中文
检索条件"机构=中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室"
93 条 记 录,以下是21-30 订阅
排序:
Pyrex玻璃的湿法深刻蚀及表面布线工艺
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功能材料与器件学报 2007年 第6期13卷 566-571页
作者: 许晓昕 高翔 徐静 吴亚明 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 中科院研究生院 北京100039
高表面质量的pyrex玻璃对提高MEMS器件尤其是光学器件性能至关重要。本文采用TiW/Au+AZ4620厚胶作为多层复合刻蚀掩模,重点研究了玻璃湿法深刻蚀工艺中提高表面质量的方法,并分析了钻蚀和表面粗糙度产生的机理。结果表明,采用TiW/Au+AZA... 详细信息
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基于多掩膜光刻工艺的MEMS体硅加工
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功能材料与器件学报 2011年 第3期17卷 313-318页
作者: 黄占喜 吴亚明 李四华 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室 上海200050 中科院研究生院 北京10003
本文提出了一种新颖的MEMS多掩膜工艺,实现了带有大台阶和大深宽比窄槽的衬底上的体硅精细加工。通过薄胶多次光刻在衬底上制作出氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)、光刻胶(photo-resist,PR)等材料的多层掩膜图形,每层掩膜可以进行一次衬底... 详细信息
来源: 评论
一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计
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半导体光电 2007年 第3期28卷 327-330,337页
作者: 杨广立 冯飞 熊斌 王跃林 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械... 详细信息
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卫星激光通信MEMS快速反射镜可靠性研究进展
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红外与激光工程 2023年 第9期52卷 222-234页
作者: 朱伟鸿 汪洋 王栎皓 刘艺晨 武震宇 上海大学微电子学院 上海200444 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 上海微技术工业研究院 上海201800 中国科学院大学 北京100049
快速反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)具有响应快、精度高、分辨率高等优势,被广泛应用于卫星激光通信、超分辨率成像、高精度激光瞄准等领域,是捕获、跟踪和瞄准(Acquisition Tracking and Pointing,ATP)系统中的核心部件。传统快反... 详细信息
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微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
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传感技术学报 2012年 第7期25卷 885-890页
作者: 王家畴 刘洁丹 李昕欣 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室 上海200050 上海交通大学微纳科技研究院 上海200240
介绍了一种新颖的微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术,该技术充分利用(111)硅片的晶向分布和各向异性湿法腐蚀的特性。通过在单晶硅片表面制作一系列微型释放窗口来定义结构的轮廓及尺寸,实现在单晶硅片内部选择性可自停止腐蚀技术,制... 详细信息
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MEMS压力传感技术最新进展
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功能材料与器件学报 2013年 第4期19卷 172-176页
作者: 李昕昕 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感器技术国家重点实验室
笔者在刚刚于西班牙巴塞罗那结束的国际固态传感器大会Transducers 2013上担任了压力传感器Session的主席,对现场七个口头报告有了最直接的接触,据此可以体会到MEMS压力传感技术对全球最新进展,于下面顺序介绍。台湾的Asia Pacific Mi... 详细信息
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用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感
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传感技术学报 2007年 第10期20卷 2174-2177页
作者: 李鹏 李昕欣 王跃林 上海交通大学微纳科学技术研究院 上海200030 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050
文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2+/巯基十一酸单... 详细信息
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新型MEMS质量传感器的研究
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仪表技术传感 2011年 第8期 1-3,16页
作者: 熊磊 焦继伟 葛道晗 宓斌伟 张轩雄 上海理工大学光电信息与计算机工程学院 上海200093 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室 上海200050
研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,... 详细信息
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一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感
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固体电子学研究与进展 2009年 第1期29卷 143-146页
作者: 毛健 车录锋 林友玲 李玉芳 周晓峰 熊斌 王跃林 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 上海200050 中国科学院研究生院 北京100039
提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感... 详细信息
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基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器
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红外与毫米波学报 2012年 第1期31卷 11-14,90页
作者: 朱耀明 李永富 李雪 唐恒敬 邵秀梅 陈郁 邓洪海 魏鹏 张永刚 龚海梅 中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室 上海200083 中国科学院红外成像材料与器件重点实验室 上海200083 中国科学院研究生院 北京100039 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 上海200050
在N-on-P型In0.78Al0.22As/In0.78Ga0.22As外延材料上,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制备了背照射640×1线列InGaAs探测器芯片,研究了探测器光电性能.结果表明,温下单元器件响应截止波长和峰值波长分别为2.36μm和1.92μm,... 详细信息
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