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检索条件"机构=加州大学伯克利分校劳伦斯国家实验室"
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排序:
半导体中浅杂质的傅里叶变换光热电离光谱
收藏 引用
物理学报 1989年 第11期38卷 1869-1873页
作者: 俞志毅 黄叶肖 陈建湘 叶红娟 沈学础 E.E.Haller 中国科学院上海技术物理研究所红外物理开放研究实验室 美国加州大学伯克利分校劳伦斯伯克利实验室
本文报道与快扫描傅里叶变换红外光谱仪相结合的光热电离光谱实验装置和测量系统。采用该系统高分辨率、高灵敏度地研究和测量高纯锗和高纯硅中的剩余浅杂质获得成功。在P型超纯Ge中发现浓度低达10~8cm^(-3)的硼受主杂质的光热电离谱线... 详细信息
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