检索结果-内蒙古大学图书馆

光子学报 2008年第9期37卷 1819-1824页

作者：陈锐王风丽朱京涛王洪昌王占山同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前... 详细信息

阐述了用遗传算法设计周期和非周期多层膜的原理和实现过程,完成了30.4nmMg/SiC周期和非周期多层膜设计,研究了遗传算法中不同种群数和多层膜膜厚取值范围对优化结果的影响.计算发现,种群数的恰当选取是使算法快速达到或逼近最优解的前提,膜厚取值范围的合理选择是提高算法效率的关键.设计得到入射角10°的周期多层膜和15°～22°范围内的宽角多层膜在波长30.4nm处的反射率依次为56.57%与39.96±0.29%,5°入射的双功能多层膜在波长30.4nm和58.4nm处的反射率分别为54.1%和0.1%.结果表明遗传算法也是一种很好的多层膜设计方法.

关键词：薄膜光学多层膜遗传算法反射率

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帽层对极紫外多层膜反射特性影响分析

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物理学报 2004年第7期53卷 2368-2372页

作者：王洪昌王占山李佛生秦树基杜芸王利张众陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

介绍了在极紫外波段 ,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低 ,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作 .计算了在 13 9nm波长处Mo Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率 ,利用单纯形... 详细信息

介绍了在极紫外波段 ,利用帽层材料来减少多层膜反射镜因外部环境干扰而造成的反射率降低 ,使多层膜光学元件能够长时间稳定工作 .计算了在 13 9nm波长处Mo Si极紫外多层膜反射镜在表面镀制不同帽层材料时的理论最大反射率 ,利用单纯形调优法 ,对帽层和多层膜的周期厚度进行优化 ,同时把分层理论用于多层膜帽层优化 ,可使多层膜的反射率得到进一步提高 .分析了在加入帽层前后多层膜外层电场强度的分布变化情况 .

关键词：多层膜反射率帽层极紫外电场强度吸波材料

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基于非周期多层膜的X射线成像研究

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光子学报 2006年第6期35卷 881-885页

作者：顾春时王占山穆宝忠王风丽张众秦树基陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场... 详细信息

本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像·

关键词： KB型显微镜 X射线非周期多层膜 X射线成像空间分辨率

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基于模拟退火算法的宽角度X射线超反射镜设计研究

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光学学报 2006年第5期26卷 787-791页

作者：程鑫彬王占山张众王风丽王洪昌陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法... 详细信息

应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且通用的全局优化算法。结合光学多层膜的设计原理提出了利用模拟退火算法来进行宽角度X射线超反射镜设计的新方法。结合已有的方法选择了W和C作为膜层的膜对材料，设计出Cu的Kα线处角度范围0．9°～1．1°反射率达到20%的宽角度X射线超反射镜。并在此基础上采用改进的自适应模拟退火算法实现了Cu的Kα线处宽角度X射线超反射镜的理想设计结果。设计结果表明了模拟退火算法在多层膜最优化设计领域的正确性和有效性。

关键词：薄膜光学 X射线超反射镜模拟退火算法

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高反射率Mo/B_4C多层膜设计及制备

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强激光与粒子束 2008年第1期20卷 67-70页

作者：张慧晶张众朱京涛白亮陈锐黄秋实刘丽琴谭默言王风丽王占山陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

运用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜结构。入射光入射角度取10°时,设计的理想多层膜膜对数为150,周期为3.59 nm,Gamma值(Mo膜厚与周期的比值)为0.41,峰值反射率为33.29%。采用恒功率模式直流磁控溅射方法制作Mo/B4C多层膜。通过在... 详细信息

运用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜结构。入射光入射角度取10°时,设计的理想多层膜膜对数为150,周期为3.59 nm,Gamma值(Mo膜厚与周期的比值)为0.41,峰值反射率为33.29%。采用恒功率模式直流磁控溅射方法制作Mo/B4C多层膜。通过在Mo/B4C多层膜与基底之间增加15 nm厚的Cr粘附层,提高多层膜与基底的粘附力。另外,还采用调整多层膜Gamma值的方法减小其内应力,调整后多层膜结构周期为3.59 nm,Mo膜厚1.97 nm,B4C膜厚1.62 nm,峰值反射率26.34%。制备了膜对数为150的Mo/B4C膜并测量了其反射率,在波长7.03 nm处,Mo/B4C多层膜的近正入射反射率为21.0%。最后对测量结果进行了拟合,拟合得到Mo/B4C多层膜的周期为3.60 nm,Gamma值0.60,界面粗糙度为0.30 nm。

关键词：软X射线 Mo/B4C多层膜遗传算法直流磁控溅射应力反射率

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30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

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光学学报 2009年第9期29卷 2615-2618页

作者：白亮朱京涛徐敬黄秋实吴文娟王晓强王占山陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁... 详细信息

太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线(波长30.4 nm)的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B_4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B_4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。

关键词：薄膜光学多层膜磁控溅射极紫外 He-Ⅱ谱线反射率

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高斯激光驻波场沉积Na原子的量子理论分析

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光子学报 2008年第3期37卷 481-484页

作者：赵敏王占山马彬马艳李同保同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

利用量子理论,通过CRANK-NICOLSON数值方法对23Na原子受激光驻波场作用的物理过程进行模拟.模拟结果表明:正失谐时,原子以λ/2为周期会聚在驻波光场中波节处.随着光势阱加深或原子纵向速度改变,原子会聚结果分别符合薄透镜、厚透镜及沟... 详细信息

利用量子理论,通过CRANK-NICOLSON数值方法对23Na原子受激光驻波场作用的物理过程进行模拟.模拟结果表明:正失谐时,原子以λ/2为周期会聚在驻波光场中波节处.随着光势阱加深或原子纵向速度改变,原子会聚结果分别符合薄透镜、厚透镜及沟道化模型.厚透镜模型中,当原子纵向速度增加,原子密度峰位置沿z方向向后漂移,峰在z方向半高宽增加.当激光功率增加或激光束腰减小,会聚面上峰半高宽减小,对比度增加,峰值增加.

关键词：量子理论原子光刻薄透镜模型厚透镜模型沟道化模型半高宽对比度

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50～11O nm波段高反射率多层膜的设计与制备

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光子学报 2007年第10期36卷 1862-1866页

作者：李存霞王占山王风丽朱京涛吴永荣王洪昌程鑫彬陈玲燕同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

阐述了50～110 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50 nm处高反射多层膜... 详细信息

阐述了50～110 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50 nm处高反射多层膜,并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50～110 nm强吸收波段宽带高反射率Si/W/Co多层膜的设计,其平均反射率达到45%.采用直流磁控溅射方法制备了Si/W/Co多层膜,用X射线衍射仪(XRD)对膜层结构进行了测试,测试结果表明制作出的多层膜结构与设计结构基本相符.

关键词：亚四分之一波长多层膜极紫外高反射率磁控溅射

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极紫外啁啾多层膜反射镜产生亚飞秒脉冲

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中国激光 2008年第9期35卷 1380-1383页

作者：陈锐王风丽王占山同济大学精密光学工程技术研究所物理系上海200092

超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一。具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到... 详细信息

超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一。具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到亚飞秒脉冲的机制,计算了特定实验条件下高次谐波产生过程中的啁啾,利用遗传算法完成了极紫外啁啾多层膜反射镜的设计,模拟分析了其产生亚飞秒脉冲的作用。结果表明,所设计极紫外啁啾多层膜反射镜能够获得半峰全宽为132 as的脉冲。

关键词：薄膜啁啾多层膜反射镜遗传算法亚飞秒脉冲

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F掺杂SnO_2电子结构的模拟计算

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物理学报 2007年第12期56卷 7195-7200页

作者：徐剑黄水平王占山鲁大学苑同锁同济大学物理系精密光学工程技术研究所上海200092 中国耀华玻璃集团公司秦皇岛066013

采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法对SnO2:F体系的电子结构进行了第一性原理模拟计算.用广义梯度近似方法优化SnO2:F体系的晶胞结构,计算了体系基态总能.通过确定F掺杂对O的优先替代位置,计算了SnO2:F的能带结构、态密度、分波态密... 详细信息

采用基于密度泛函理论的平面波赝势方法对SnO2:F体系的电子结构进行了第一性原理模拟计算.用广义梯度近似方法优化SnO2:F体系的晶胞结构,计算了体系基态总能.通过确定F掺杂对O的优先替代位置,计算了SnO2:F的能带结构、态密度、分波态密度.分析了F掺杂对SnO2晶体的电子结构和晶体性质及光学吸收边的影响,从理论上得出光学吸收边发生蓝移.对不同掺杂量的体系电子结构进行了分析.

关键词： F掺杂 SnO2 电子结构态密度

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