检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：王韬卢红亮杨建国刘文军张卫复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海智能电子与系统研究院上海200433中国

非晶铟镓锌氧(Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide,α-IGZO)薄膜具有迁移率高、均匀性好等特点,并且在可见光波长范围有较高的光透射率,可以实现制备全透明以及柔性显示器件,是新一代氧化物半导体薄膜晶体管中应用最广泛,也是最具潜... 详细信息

非晶铟镓锌氧(Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide,α-IGZO)薄膜具有迁移率高、均匀性好等特点,并且在可见光波长范围有较高的光透射率,可以实现制备全透明以及柔性显示器件,是新一代氧化物半导体薄膜晶体管中应用最广泛,也是最具潜力的有源层材料.本论文采用直流磁控溅射方法制备了叠层非晶IGZO薄膜(氮掺杂IGZO/非晶IGZO/氮掺杂IGZO),将其作为沟道层制备了IGZO薄膜晶体管(TFT),并对器件电学特性和稳定性进行了研究,取得了如下研究成果:1)N掺杂的顶部IGZO薄膜可以有效的阻挡水分子的吸附,并且N掺杂底部IGZO薄膜可以明显降低介质层与沟道层界面陷阱密度;2)直流磁控溅射方法原位掺杂N元素制备叠层IGZO薄膜有着良好的电学性能,通过对N掺杂薄膜厚度的合理搭配,得到的叠层沟道结构TFT具有很好的电学特性,即沟道载流子迁移率达到27.9cm2/Vs,亚阈值摆幅为0.21V/decade,是非掺杂IGZO薄膜TFT器件的1/3,电流开关比达到3.1xl07;3)研究了不同沟道结构IGZO TFT器件在正向栅压应力(PGS,Positive Gate bias Stress)下阈值电压偏移的物理过程.对于界面陷阱或绝缘层内陷阱较多的α-IGZO TFT器件,在PGS下阈值电压正向偏移主要是由于栅绝缘层内陷阱或界面陷阱对沟道电子的捕获,被捕获的电子积累在栅绝缘层内屏蔽了部分栅压,为了使得TFT器件到达正常的开启电流,需要更大的栅压来产生更多的沟道电子.在这种俘获机制中,测试的器件转移特性曲线随着应力时间的增大向正方向平移.随着应力时间的累积,其捕获电子的总数不断增加,阈值电压正向偏移的幅度也越来越大.

关键词：薄膜晶体管非晶铟镓锌氧半导体直流磁控溅射叠层结构电学特性稳定性评价

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

原子层沉积ZnO/Cu/ZnO透明导电膜的电学、光学特性研究

原子层沉积ZnO/Cu/ZnO透明导电膜的电学、光学特性研究

引用

第十四届长三角科技论坛暨第十届华东真空学术交流会

作者：马宏平王韬卢红亮张卫复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海智能电子与系统研究院上海200433中国

获得更低电阻率和更高透过率的透明导电膜(TCO)一直是该领域科研人员努力和追求的目标,利用热蒸发和磁控溅射方法制备TCO薄膜的研究己经有很多,本文尝试利用原子层沉积(ALD)这种优良的镀膜方法,希望制备出高性能的ZnO/Cu/ZnO三明治结构... 详细信息

获得更低电阻率和更高透过率的透明导电膜(TCO)一直是该领域科研人员努力和追求的目标,利用热蒸发和磁控溅射方法制备TCO薄膜的研究己经有很多,本文尝试利用原子层沉积(ALD)这种优良的镀膜方法,希望制备出高性能的ZnO/Cu/ZnO三明治结构的TCO薄膜。利用光学光谱仪和四探针测量仪测试薄膜的光学和电学特性,并利用X射线衍射和透射电子显微镜观察和表征薄膜的细微结构。实验结果显示铜层的厚度对多层膜的光电特性有很大的影响,当铜层厚度增加时,薄膜的电阻率会不断降低,但是透过率也会随之降低。通过分析发现当铜层厚度为14 nm时,电阻率可以低至～3 x 10-4n_cm,同时在可见光区域的平均透过率也能够达到65％。对于ALD初步实现TCO薄膜的制备,就能够达到如此良好的光电特性,说明ALD技术具有制备优异透明导电膜的巨大应用潜力。通过进一步研究和ALD工艺参数的优化,相信利用ALD能够制备出更低电阻率和更高透过率的TCO薄膜。

关键词：透明导电膜原子层沉积电阻率透过率

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于OMP的SRAM成品率分析的分组建模方法

引用

太赫兹科学与电子信息学报 2020年第1期18卷 155-159页

作者：梁堃张龙赵振国杨帆中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心四川成都610200 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 中国工程物理研究院高性能数值模拟软件中心北京100088 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室上海201203

静态随机存取存储器(SRAM)电路的失效是极小概率事件,并且不同电路条件下的失效区域边界可能相距很远。因此,为了更高效地获得更精准的SRAM成品率预测结果,提出一种基于正交匹配追踪(OMP)算法的SRAM性能分组建模方法,并应用于典型SRAM... 详细信息

静态随机存取存储器(SRAM)电路的失效是极小概率事件,并且不同电路条件下的失效区域边界可能相距很远。因此,为了更高效地获得更精准的SRAM成品率预测结果,提出一种基于正交匹配追踪(OMP)算法的SRAM性能分组建模方法,并应用于典型SRAM电路成品率的预测。此方法主要根据不同SRAM电路条件下失效区域边界距离的差异将仿真数据划分为多组,之后利用OMP算法对不同组的数据分别建立多项式模型,该模型可用于对SRAM电路的成品率进行快速分析预测。与标准蒙特卡洛统计算法及基于OMP的单一建模方法相比,基于OMP的分组建模方法不仅可以缩短建模时间,提高建模准确度,还能够获得更加精确的SRAM成品率预测结果。

关键词：分组建模正交匹配追踪重要性采样静态随机存取存储器成品率预测

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

食品安全追溯中的编码标识研究与应用

引用

移动信息 2020年第5期 89-93页

作者：李露露王成杰杨旭王俊宇专用集成电路与系统国家重点实验室(复旦大学) 上海201203 珠海复旦创新研究院广东珠海518057 中检集团溯源技术服务有限公司北京100028

针对食品安全追溯体系建设存在编码标识不统一、难以实现数据共享和交换等问题,研究主流的编码标识规则,包括GS1编码、Ecode编码、商务部编码、EPC编码等编码体系;研发了编码类型识别服务,以GS1标准体系的EPCIS信息服务为基础,兼容异构... 详细信息

针对食品安全追溯体系建设存在编码标识不统一、难以实现数据共享和交换等问题,研究主流的编码标识规则,包括GS1编码、Ecode编码、商务部编码、EPC编码等编码体系;研发了编码类型识别服务,以GS1标准体系的EPCIS信息服务为基础,兼容异构编码,面向食品安全追溯领域研发原型系统,为建立异构编码通识通查和数据互联互通的统一追溯平台提供系统验证。

关键词： GS1 Ecode 商务部编码 EPCIS 追溯体系

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

基于重掺杂的谐振式传感器频率温度系数补偿研究

引用

传感器与微系统 2016年第2期35卷 39-41,45页

作者：杨力建游卫龙张磊杨恒李昕欣复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 中国科学院研究生院北京100040

MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实... 详细信息

MEMS谐振式传感器具有精度高、准数字输出、抗干扰能力强等特点,高精度压力传感器、应力传感器等多采用谐振式工作原理。频率温度系数补偿是实现高精度谐振式传感器的关键技术。通过实验研究了利用重掺杂改善硅频率温度系数的技术。实验表明:P型掺杂浓度达到7×1019/cm3时,〈110〉晶向频率温度系数降低到-11.68×10-6/K;N型掺杂浓度达到6×1019/cm3时,〈100〉晶向谐振频率是温度的二次函数,在80℃左右频率温度系数有过零点。首次实验演示了利用低功耗加热控制结合N型重掺杂,当环境温度由30℃变化到40℃时,谐振频率温度漂移仅为1.13×10-7/℃。利用该技术可实现超高温度稳定性的谐振式传感器。

关键词：谐振式传感器振荡器频率温度系数温度补偿

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

两种级联交错相位调制归零码的100Gbit/s传输

两种级联交错相位调制归零码的100Gbit/s传输

引用

全国第14次光纤通信暨第15届集成光学学术会议

作者：邵宇丰贺志学迟楠专用集成电路与系统国家重点实验室复旦大学通信科学与工程系上海 200433 光纤通信技术和网络国家重点实验室(筹) 武汉邮电科学研究院武汉 430074

本文在级联相位调制的100Gbit/s光信号传输系统中，提出了两种新码型-占空比为33％的光交错相移键控归零码(RZ—SDPSK)和占空比为67％的光交错相移键控载波抑制归零码(CSRZ—SDPSK)的产生和检测方案。通过50km的普通单模光纤(SMD)和8km... 详细信息

本文在级联相位调制的100Gbit/s光信号传输系统中，提出了两种新码型-占空比为33％的光交错相移键控归零码(RZ—SDPSK)和占空比为67％的光交错相移键控载波抑制归零码(CSRZ—SDPSK)的产生和检测方案。通过50km的普通单模光纤(SMD)和8km的色散补偿光纤(DCF)传输后，当入纤功率相同时，CSRZ—SDPSK码具有较高的色散容限:如果仅考虑一阶偏振模色散，RZ-SDPSK信号具有较好的抗偏振模色散特性。入纤功率在0～10dBm的范围内调节时，两种码型码有相似的传输特性。通过125GHz带宽的三阶高斯滤波器后，RZ—SDPSK码接收性能较优，并且三阶高斯滤波器的带宽值必须大于100GHz，才能有效地恢复信号时钟。

关键词：光纤通信数据传输相位调制色散补偿

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

集成电路光刻机精密运动台控制方法综述

引用

长春工业大学学报 2022年第4期43卷 419-427页

作者：姜龙滨刘维珂杨晓峰复旦大学工程与应用技术研究院上海市超精密运动控制与检测工程研究中心上海200433 复旦大学微电子学院专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433

集成电路的持续发展推动了信息技术的进步。步进扫描式光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备。其中,精密运动台是光刻机最为核心的子系统之一,高速、高加速和高精度的要求对控制方法的研究和应用提出了挑战。文中... 详细信息

集成电路的持续发展推动了信息技术的进步。步进扫描式光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备。其中,精密运动台是光刻机最为核心的子系统之一,高速、高加速和高精度的要求对控制方法的研究和应用提出了挑战。文中对集成电路光刻机中精密运动台的控制方法进行了综述。首先,介绍了面向光刻机工件台或掩模台单一运动台的前馈反馈复合控制方法;其次,介绍了工件台和掩模台的同步控制方法;最后,介绍了运动台的主动减振控制方法。

关键词：光刻机迭代学习控制扰动观测器同步控制主动减振控制

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

无线网络中的快速自适应实时流媒体控制算法

引用

信息与电子工程 2011年第2期9卷 138-142页

作者：朱凌云李甲胡波复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室北京100190 复旦大学电子工程系上海200433 中国科学院电子学研究所北京100190 中国科学院研究生院北京100039

在流媒体网络传输中,如何降低媒体流的误码率和提供更好的媒体质量一直是流媒体研究所关注的焦点问题。本文在分析比较各类算法后,提出了一种适用于无线网络中的快速自适应实时流媒体控制算法,该算法能快速获取当前网络情况,并在保证媒... 详细信息

在流媒体网络传输中,如何降低媒体流的误码率和提供更好的媒体质量一直是流媒体研究所关注的焦点问题。本文在分析比较各类算法后,提出了一种适用于无线网络中的快速自适应实时流媒体控制算法,该算法能快速获取当前网络情况,并在保证媒体流质量稳定的前提下,非常快速、准确地调整发送端的媒体流速率。实验表明,该算法能够在不稳定的网络环境中大幅降低媒体流的误码率,并提供更好的媒体质量。

关键词：自适应流媒体 RTP/RTCP协议无线网络

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

分布式交互方向拉格朗日乘子声源定位算法

引用

信息与电子工程 2011年第3期9卷 369-372,398页

作者：施爱春李甲胡波复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433 复旦大学电子工程系上海200433 中国科学院电子学研究所北京100190 中国科学院研究生院北京100039

如何实现高效的分布式声源定位是无线传感器网络研究的热点。通过一种基于声源信号能量的分布式声源定位算法,采用交互方向的拉格朗日乘子方法将最大似然声源定位问题拆分到单个传感器节点,通过桥接传感器节点实现传感器节点之间的信息... 详细信息

如何实现高效的分布式声源定位是无线传感器网络研究的热点。通过一种基于声源信号能量的分布式声源定位算法,采用交互方向的拉格朗日乘子方法将最大似然声源定位问题拆分到单个传感器节点,通过桥接传感器节点实现传感器节点之间的信息融合。由于采用声源信号衰减模型,交互方向拉格朗日乘子方法中的最优化目标函数成为非凸函数,导致定位算法容易陷入局部最优,为此提出了多重网格搜索方法。仿真结果表明,新算法与现有的分布式声源定位算法相比,具有可并行实现,可应用于任意网络拓扑,不易陷于局部最优等优点。

关键词：基于能量的声源定位分布式算法无线传感器网络交互方向的拉格朗日乘子方法桥接传感器多重网格搜索

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

ALD-Al2O3薄膜折射率随厚度的变化研究

ALD-Al2O3薄膜折射率随厚度的变化研究

引用

第一届全国椭圆偏振光谱学研讨会

作者：王子仪张荣君卢红亮陈鑫张云许骥平陈良尧复旦大学信息科学与工程学院上海超精密光学制造工程技术研究中心上海200433 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室上海200433 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海200083

利用原子层沉积(ALD)在硅衬底上制备了不同厚度的的氧化铝(Al2O3)薄膜.原子力显微镜(AFM)的测量结果表明制备的Al2O3 薄膜表面平整,并且均方根粗糙度(RMSroughness)低于1 nm.利用椭偏测量并分析1,得到的Al2O3 薄膜折射率随厚度变化情况...

利用原子层沉积(ALD)在硅衬底上制备了不同厚度的的氧化铝(Al2O3)薄膜.原子力显微镜(AFM)的测量结果表明制备的Al2O3 薄膜表面平整,并且均方根粗糙度(RMSroughness)低于1 nm.利用椭偏测量并分析1,得到的Al2O3 薄膜折射率随厚度变化情况如图1(a)所示,薄膜的折射率随着厚度的增加而减小,这与有关50 nm 以上厚度的Al2O3 薄膜的报道不符2.在400 ?C氮气氛围下进行快速退火后,Al2O3薄膜的折射率变化趋势回归正常.

关键词：

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：