检索结果-内蒙古大学图书馆

环境科学与技术 2011年第4期34卷 159-162,195页

作者：孙舒婧王艳丁桂甫汪红上海交通大学微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

文章制备了多壁碳纳米管修饰电极(MWCNT-ME)并考察了其对焦化废水中难降解有机物的电催化性能。对MWCNT-ME的表面形貌、有机污染物吸附性能及苯胺和苯酚单项污染物电化学特性进行初步表征分析,在此基础上结合气质联用(GC/MS)检测和COD... 详细信息

文章制备了多壁碳纳米管修饰电极(MWCNT-ME)并考察了其对焦化废水中难降解有机物的电催化性能。对MWCNT-ME的表面形貌、有机污染物吸附性能及苯胺和苯酚单项污染物电化学特性进行初步表征分析,在此基础上结合气质联用(GC/MS)检测和COD检测分析对比了MWCNT-ME与IrSnSb金属电极对焦化废水中难降解有机污染物的电化学降解能力。MWCNT-ME对于苯胺和苯酚单项污染物有高的电化学反应活性;MWCNT-ME与粉体吸附介质比较表现出较低的吸附活性,电化学降解是MWCNT-ME处理废水时有机污染物浓度降低的主要因素;在相同工作条件下,MWCNT-ME降解焦化废水中难降解有机物的COD降解效率的高于IrSnSb电极,具有降解焦化废水中难降解有机物的应用潜力。

关键词：焦化废水有机污染物多壁碳纳米管修饰电极

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碳纳米管微电极的直流介质阻挡放电特性

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微纳电子技术 2011年第1期48卷 21-25,36页

作者：王雨化侯中宇回兵徐东上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极上电泳多壁碳纳米管,采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层。在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直... 详细信息

研究了一种基于碳纳米管尖端的直流介质阻挡放电(DBD)微结构,使用MEMS加工工艺制作出深宽比0.5的侧壁相对的叉指状金属电极,在电极上电泳多壁碳纳米管,采用真空磁控溅射沉积二氧化硅介质层。在大气压下测试了所制备的DBD微结构样品的直流放电基本特性。实验结果表明,在几伏特的直流加载电压下即可检测到纳安量级的放电电流,并且放电电流对人体呼吸和环境气体变化有明显响应。放电起始电压小于10V并显现出明显的抑制电流自由增长的DBD放电特征,但电流下降持续时间达102～103s量级,大于常规常压DBD时间,显示出碳纳米管尖端的特异效应。

关键词：碳纳米管(CNT) 电泳碳纳米管介质阻挡放电微机电系统(MEMS) 气敏传感器

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抗磁悬浮的原理、特点和应用

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磁性材料及器件 2011年第1期42卷 1-6,44页

作者：李世鹏张卫平陈文元刘武成宇翔上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

抗磁物质处在磁场中时,在重力和抗磁力的作用下,会稳定悬浮,利用这个原理可以实现抗磁物质的捕获、移动等微操纵。本文详细介绍了抗磁悬浮的两个分类:传统的抗磁悬浮和磁阿基米德抗磁悬浮,并对二者的特点、应用等作了介绍,然后详细分析... 详细信息

抗磁物质处在磁场中时,在重力和抗磁力的作用下,会稳定悬浮,利用这个原理可以实现抗磁物质的捕获、移动等微操纵。本文详细介绍了抗磁悬浮的两个分类:传统的抗磁悬浮和磁阿基米德抗磁悬浮,并对二者的特点、应用等作了介绍,然后详细分析了抗磁悬浮有关的关键因素,例如磁化率的计算、磁场分布的产生等,最后结合永磁体的小尺寸效应和MEMS(微机械系统)技术,重点分析了抗磁悬浮在生物芯片领域的应用。

关键词：抗磁悬浮磁阿基米德悬浮原理应用

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基于0.5μm CMOS工艺的13.56MHz RFID读写器解调电路

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微电子学 2011年第1期41卷 98-102页

作者：杜涛朱红卫戴庆元华虹NEC电子有限公司上海201206 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

射频识别系统主要包括读写器和电子标签两部分。设计了一种新颖的13.56 MHz读写器芯片核心部分信号链路,包括混频、滤波、放大模块、积分模块、采样保持模块以及位解码模块。该结构能够提高接收电路的灵敏度和抗干扰能力。设计遵循ISO/I... 详细信息

射频识别系统主要包括读写器和电子标签两部分。设计了一种新颖的13.56 MHz读写器芯片核心部分信号链路,包括混频、滤波、放大模块、积分模块、采样保持模块以及位解码模块。该结构能够提高接收电路的灵敏度和抗干扰能力。设计遵循ISO/IEC 14443协议Type A,采用一种5 V单电源0.5μm CMOS工艺,给出了Cadence环境下的仿真结果。

关键词：射频识别读写器解调器 ISO/IEC 14443 Type A

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用于射频标签的低功耗上电复位电路

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半导体技术 2011年第1期36卷 45-48页

作者：张旭琛彭敏戴庆元杜涛上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响... 详细信息

介绍了一种用于射频标签芯片中数字逻辑部分的上电复位电路。该上电复位电路适应于低电源电压的芯片,改变MOS晶体管的参数以及延迟时间可以调节脉冲的宽度和数字门电路加宽脉冲的宽度,通过反馈管,电路能够抵抗比较大的电源电压噪声影响。电路产生上电复位信号脉冲后,通过反馈控制使能端信号关断整个电路,实现低功耗。电路采用华虹NEC公司0.13μm标准CMOS工艺流片,测试结果表明,此电路能够输出有效的脉冲信号;脉冲过后的导通电流基本为0。FPGA平台的验证表明,芯片输出的POR信号能够正确启动标签中的数字基带芯片,输出信号有效。

关键词：上电复位低功耗射频识别 0.13μm 互补金属氧化物半导体

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基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作

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纳米技术与精密工程 2011年第5期9卷 422-426页

作者：芮岳峰王亚军刘景全杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微... 详细信息

在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求.

关键词：神经工程 MEMS Parylene 微电极阵列

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碳纳米管修饰电极的制备及其电化学敏感性研究

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传感器与微系统 2011年第5期30卷 75-78页

作者：陆闻静丁桂甫王艳邓敏周镇威上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,... 详细信息

介绍了一种碳纳米管修饰电极的制备工艺,并对其电化学敏感性进行测试和分析。该工艺辅助聚合物聚酰亚胺,利用机械球磨、可控刻蚀等工艺,实现了碳纳米管的均一分布,露出碳纳米管的断口和缺陷。在玻碳电极上涂覆碳纳米管/聚酰亚胺复合膜,结合扫描电子显微镜观察,得到了可控、均一、稳定的电极界面。利用循环伏安法对电极进行性能测试,讨论了工艺对性能的影响,结果表明:该电极对溶液中的微量物质敏感,并且对电化学反应有催化和促进作用。

关键词：碳纳米管修饰电极循环伏安法

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真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

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真空 2011年第1期48卷 18-20页

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： Parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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基于硅与非硅复合方法的异平面空心微针制作

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纳米技术与精密工程 2011年第6期9卷 561-564页

作者：闫肖肖沈修成刘景全杨春生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题,本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针.首先采用湿法刻蚀硅,得到280μm深的倒四棱锥锥坑;然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑,并通过曝光显影负胶... 详细信息

为了解决制备空心微针工艺复杂且成本高的问题,本文提出了采用湿法刻蚀、光刻和电镀结合的方法制备低成本空心金属微针.首先采用湿法刻蚀硅,得到280μm深的倒四棱锥锥坑;然后在锥坑上甩200μm厚的负胶SU-8填充锥坑,并通过曝光显影负胶形成微针的形貌;最后在曝光显影后的负胶上电镀50μm厚的镍得到所需形状的空心金属微针.用此方法制备的空心微针高度为350μm、壁厚为50μm,其针尖形状为三棱锥和四棱锥.通过有限元仿真分析微针强度与微针结构尺寸的关系.用此方法加工出的微针具有锥形尖,改善了刺入皮肤的效果.

关键词：空心金属微针 SU-8 经皮给药

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基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

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真空 2011年第2期48卷 60-62页

作者：芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小。相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材... 详细信息

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法,应用MEMS(微电子机械系统)技术将芯片和电极进行了芯片级的互连,系统集成度高,尺寸小。相比传统的单层互连方法,在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料,大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多,各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene(聚对亚苯基二甲基)薄膜,为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连 PDMS

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