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第三届上海纳米科技与产业发展研讨会

作者：乔保卫冯洁赖云锋凌云林殷茵汤庭鳌蔡炳初陈邦明上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室上海 200433 Silicon Storage Technology Inc．1171 Sonora CourtSunnyvaleCA94086USA

采用共溅射Ge2Sb2Te5合金靶和si靶的方法制备了掺杂Si的Ge2Sb2Te5薄膜。掺杂Si提高了Ge2Sb2Te5薄膜的晶化温度和从面心立方晶相向六方晶相转变的温度。掺杂Si可显著提高薄膜的晶态电阻率。当Si掺杂浓度为11.8at.％时,460℃退火后薄膜的... 详细信息

采用共溅射Ge2Sb2Te5合金靶和si靶的方法制备了掺杂Si的Ge2Sb2Te5薄膜。掺杂Si提高了Ge2Sb2Te5薄膜的晶化温度和从面心立方晶相向六方晶相转变的温度。掺杂Si可显著提高薄膜的晶态电阻率。当Si掺杂浓度为11.8at.％时,460℃退火后薄膜的晶态电阻率从1增加到11mΩ.cm。I-y特性显示,掺杂Si增加了器件的动态电阻,这有利于降低相变存储器的写电流。

关键词：晶态电阻率相变存储器相变薄膜薄膜性能晶化温度晶相转变

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一种新场发射压力传感器阳极膜结构的模拟与测试

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传感技术学报 2005年第3期18卷 614-616页

作者：钱开友颜丙勇林仰魁王芸徐东蔡炳初薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果... 详细信息

提出了场发射压力传感器阳极变形膜的双层膜结构。计算机模拟证明这种结构与已报道的单层膜相比具有大量程与高灵敏度的优点。对这种结构的形变特性进行了实验测试,考虑到测量误差与湿法刻蚀造成膜表面的不平整因素,测实结果与模拟结果较为相符。

关键词：场发射压力传感器阳极变形膜计算机模拟

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非接触压电马达驱动机理分析

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压电与声光 2005年第5期27卷 562-565页

作者：刘景全杨斌周广华蔡炳初杨志刚上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130025

主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压... 详细信息

主要研究行波型非接触压电马达的驱动机理,该文引入边界层概念,对振动体产生的边界层进行分析,探讨行波型超声波非接触驱动机理。给出在振子产生的边界层内超声波非接触驱动主要为声流驱动,而在边界层外是由壁面行波产生的斜向声辐射压力驱动。

关键词：压电马达非接触驱动机理

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圆盘型非接触压电微马达定子的振动分析

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振动．测试与诊断 2005年第3期25卷 193-195页

作者：周广华杨斌刘景全蔡炳初上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定... 详细信息

提出一种圆盘型非接触压电微马达,采用有限元方法分析了马达定子的振动模态和固有频率,对定子的振幅与施加电压的关系进行了数值分析。最后,采用激光多谱勒测振仪对定子的振型和振幅进行了测试,实验结果与有限元分析吻合较好,为马达定子的设计和优化提供了理论依据。

关键词：压电马达非接触定子有限元方法

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碳纳米管构筑多沟道场效应晶体管

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中国科学（E辑） 2005年第11期35卷 1156-1165页

作者：陈长鑫张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用功能分子对碳纳米管表面进行了修饰改性,结合交变电场操纵排布的方法在金属电极之间定向排布单壁碳纳米管(SWNTs),实现了多条SWNTs并联于场效应晶体管的源漏电极之间,构成场效应晶体管的多条导电沟道.该方法避免了SWNTs间的缠绕,基... 详细信息

利用功能分子对碳纳米管表面进行了修饰改性,结合交变电场操纵排布的方法在金属电极之间定向排布单壁碳纳米管(SWNTs),实现了多条SWNTs并联于场效应晶体管的源漏电极之间,构成场效应晶体管的多条导电沟道.该方法避免了SWNTs间的缠绕,基本上可使SWNTs在源漏电极之间相互分开和平行排列.实验结果表明,在高挥发性的有机溶剂中排布可减少源漏电极周围的残留物,起到提纯SWNTs原料的作用.

关键词：多沟道碳纳米管场效应晶体管定向排布跨导

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RF MEMS开关的桥膜弹性系数计算

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电子元件与材料 2005年第3期24卷 47-50页

作者：邵雯雯惠春徐爱兰薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院上海200030

桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后... 详细信息

桥膜弹性系数是影响RFMEMS开关启动电压的重要参量。对RFMEMS开关进行静态力学分析,指出常用的桥膜弹性系数的计算公式未考虑开关实际采用的共面波导(CPW)结构。考虑桥膜上实际的静电力分布,修正了桥膜弹性系数的计算公式。根据修正后的计算公式,进一步探讨了减小桥膜弹性系数的方法,以降低开关的启动电压。

关键词：电子技术 RFMEMS开关桥膜驱动电压弹性系数

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BST薄膜铁电移相器研究进展

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电子元件与材料 2005年第3期24卷 59-62页

作者：余慧春徐爱兰惠春上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势。介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及BST薄膜铁电移相器的结构类型和研究进展。

关键词：微波技术钛酸锶钡薄膜铁电移相器综述介电性能

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应用于音频放大器的多位Σ-Δ调制器的设计

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微型机与应用 2005年第9期24卷 24-26页

作者：张冲王森章王振林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为在低过采样率下设计出高性能的调制器,通过采用级间反馈和1位AD/DAC与多位AD/DAC的混合设计,降低多位DAC非线性化而带来的噪声,进一步改善输出信号的信噪比。提出了一种应用于数字音频放大器中的多位Σ-Δ调制器结构。

关键词： ∑-△调制器数模转换器信噪比过采样率数字音频放大器混合设计应用 DAC 非线性化输出信号

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静电悬浮转子微陀螺及其关键技术

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中国惯性技术学报 2005年第6期13卷 61-67页

作者：崔峰苏宇锋张卫平吴校生陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 详细信息

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。

关键词：微机电系统微陀螺微加速度计转子静电悬浮

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UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究

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微细加工技术 2005年第4期 69-75页

作者：张晔陈迪潘欣欣方华斌朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺... 详细信息

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺路线适用于对机械强度要求不高的各类多层微结构器件,一次电铸工艺路线适用于对机械强度要求较高的结构,其中溅射种子层工艺适用于深宽比较小的多层微结构模具,而直接电铸工艺适用于深宽比较大且层间直径相差较小的多层微结构器件。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶双层微齿轮

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