检索结果-内蒙古大学图书馆

电子显微学报 1999年第1期18卷 119-123页

作者：刘秀梅洪涛王佳李达成精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系

扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇｎｅａｒ－ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）自八十年代中期以来获得了迅速的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分... 详细信息

扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇｎｅａｒ－ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）自八十年代中期以来获得了迅速的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理，本文提出了一种新型的样品－针尖间距测控的非光学方法，即，利用压电陶瓷的压电和逆压电效应，将压电陶瓷片分为三部分，分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高，可将样品－针尖的间距控制在３ｎｍ左右，而且廉价、制备十分简单。

关键词：扫描近场光学显微镜间距调控非光学法

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响

引用

光电工程 1999年第2期26卷 30-34页

作者：梁嵘李达成曹芒赵洋清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室

以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探... 详细信息

以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。

关键词：轮廓测量光学探针 SPM 扫描探针显微镜

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

动态几何量多站法激光跟踪测量自标定

引用

光学技术 1999年第3期25卷 25-27,31页

作者：刘永东王佳梁晋文清华大学精密仪器及机械系精密测试技术与仪器国家重点实验室

采用激光跟踪控制系统实现工业几何量动态测量，提出了实现动态几何量测量的基本目标和任务。重点分析了采用多个激光跟踪测量系统实现动态几何量测量的基本原理，以及多站法完成自标定的方法。分析了自标定的仿真算法并给出实验结果。

关键词：动态几何量激光跟踪多站法自标定测量

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

激光热轧带钢平直度测量仪

引用

仪器仪表学报 1999年第6期20卷 648-650页

作者：杨溪林方仲彦金国藩邱忠义清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 冶金部自动化研究院北京100071

本文介绍了一种新的激光热轧带钢平直度测量系统，系统采用多束激光作光源，无需分光扫描和传感器定位装置；优化设计图象检测系统，保证了系统的响应速度；改进平直度计算模型，提高系统测量精度和灵敏度；配合有效的防护措施，成功地... 详细信息

本文介绍了一种新的激光热轧带钢平直度测量系统，系统采用多束激光作光源，无需分光扫描和传感器定位装置；优化设计图象检测系统，保证了系统的响应速度；改进平直度计算模型，提高系统测量精度和灵敏度；配合有效的防护措施，成功地研制了ＬＦ—１００型激光板形仪。近十个月的在线测量结果表明，静态测量精度达±０．６５ｍｍ，带宽５点测量时间达８７ｍｓ／次。

关键词：平直度板形激光热轧带钢测量仪

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

面阵CCD在大尺寸形位误差测量中的应用(英文)

引用

仪器仪表学报 1999年第2期20卷 111-113,120页

作者：郝群赵洋李达成曹芒北京理工大学光电工程系北京100081 清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用面阵CCD探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对二维位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法──正交投影法，消除了CCD表面保护玻璃形成的干... 详细信息

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用面阵CCD探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对二维位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法──正交投影法，消除了CCD表面保护玻璃形成的干涉条纹的影响，对空气扰动也起到了很好的抑制作用，并且使二维图像处理变为一维计算，大大提高了计算速度.此面阵CCD测量系统与双频激光干涉仪测量直线度误差的比对实验结果表明，二者的测量结果符合得很好，说明测量系统有很高的可信度。

关键词：面阵CCD 位相板衍射图样形位误差测量大尺寸

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

引用

第五届全国STM学术会议

作者：刘秀梅洪涛王佳李达成精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,... 详细信息

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,本文提出了一种新型的样品-针尖间距测控的非光学方法,即,利用压电陶瓷的压电和逆压电效应,将压电陶瓷片分为三部分,分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高,可将样品-针尖的间距控制在3nm 左右, 而且廉价、制备十分简单。

关键词：扫描近场光学显微术间距调控剪切力非光学方法压电

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

线阵CCD用于长距离衍射准直测量

引用

敏通科技 1999年第12期 29-31页

作者：郝群李达成北京理工大学光电工程系北京清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室北

本文介绍了在半导体激光光纤与位相板相结合的准直情况下，利用线阵ＣＣＤ控制器测量大型工件形位误差遇到的光强变化而引起测量误差的问题，并对用线阵ＣＣＤ进行衍射信号测量的原理和特点作了分析，根据ＣＣＤ的工作原理和特性，提出... 详细信息

本文介绍了在半导体激光光纤与位相板相结合的准直情况下，利用线阵ＣＣＤ控制器测量大型工件形位误差遇到的光强变化而引起测量误差的问题，并对用线阵ＣＣＤ进行衍射信号测量的原理和特点作了分析，根据ＣＣＤ的工作原理和特性，提出了利用自动控制ＣＣＤ积分时间的方法，使ＣＣＤ输出的信号峰值保持恒定，提高了系统的测量精度。

关键词：线阵CCD 形径误差测量激光长距离衍射准直测量

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

全景环形透镜原理与特点剖析

引用

光学技术 1998年第1期24卷 10-12页

作者：王道义黄大为邬敏贤严瑛白金国藩清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室

本文从分析传统中心投影法入手，介绍了平面圆柱投影（ＦＣＰ）的基本概念、主要特点，深入地探讨了实现ＦＣＰ的一种光学器件——全景环形透镜（ＰＡＬ）的工作原理。ＰＡＬ具有线性投影关系、方向选择性、景深无限远等重要特性。优化... 详细信息

本文从分析传统中心投影法入手，介绍了平面圆柱投影（ＦＣＰ）的基本概念、主要特点，深入地探讨了实现ＦＣＰ的一种光学器件——全景环形透镜（ＰＡＬ）的工作原理。ＰＡＬ具有线性投影关系、方向选择性、景深无限远等重要特性。优化设计了一个口径为３４ｍｍ的ＰＡＬ，模拟计算进一步证实了ＰＡＬ的上述特性。

关键词：平面圆柱投影全景环形透镜原理光学成像

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

坐标误差修正技术

引用

计量技术 1998年第12期 9-12页

作者：汤文骏段敏谟张玉坤方仲彦清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室

随着对产品加工和测量准确度的要求越来越高，利用误差修正技术实现低成本精度升级的方法已成为一个非常重要的研究领域。本文介绍了误差修正技术的特点、内容以及最新的发展情况。

关键词：误差修正坐标误差实时修正修正

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种位相板衍射图样的图像处理新方法

引用

光学技术 1998年第4期24卷 25-27页

作者：郝群赵洋李达成曹芒王红日北京理工大学光电工程系清华大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室长城计量测试技术研究所

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用ＣＣＤ探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法——投影法。同在时间上采用的多次平均的方法相比较，... 详细信息

本文介绍了在半导体激光光纤和位相板相结合的准直情况下，利用ＣＣＤ探测器测量大尺寸形位误差的原理，并针对位相板衍射图像的特点，提出了一种处理此类衍射图样的图像处理新方法——投影法。同在时间上采用的多次平均的方法相比较，投影法相当于采用了空间上的平均，消除了ＣＣＤ表面保护玻璃形成的干涉条纹的影响，对空气扰动也起到了很好的抑制作用。并且使二维图像处理变为一维计算。

关键词：位相板衍射图样图像处理形位误差

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：