检索结果-内蒙古大学图书馆

光学精密工程 2012年第8期20卷 1747-1753页

作者：冯金扬叶雄英陈烽商院芳清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种基于集成双光栅干涉和CCD图像测量的微梁位移测量方法,并利用相位差约为π/2的一组光栅实现了扩量程位移检测。利用表面牺牲层工艺制作敏感芯片,在玻璃基底上刻蚀深度约为入射激光波长1/8的凹槽,凹槽上下的两组光栅与正上方... 详细信息

介绍了一种基于集成双光栅干涉和CCD图像测量的微梁位移测量方法,并利用相位差约为π/2的一组光栅实现了扩量程位移检测。利用表面牺牲层工艺制作敏感芯片,在玻璃基底上刻蚀深度约为入射激光波长1/8的凹槽,凹槽上下的两组光栅与正上方对应的梁分别构成两组相位敏感集成光栅单元。利用1级衍射光将集成光栅单元成像在CCD靶面上,梁的位移变化通过CCD图像上对应光斑的灰度值变化来反映。实验结果表明,虽然玻璃凹槽腐蚀深度的误差导致光栅之间的相位差偏离π/2,但所制作的集成双光栅结构实现了多周期的扩量程位移检测,通过接近π/2相位差的两个光栅得到的光强信号的错峰使用,避免了干涉法正弦位移检测信号的峰谷不灵敏位置,实验测得微梁的位移变化为650nm。

关键词：位移测量集成双光栅干涉法图像测量微悬臂梁扩量程

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组合热膜式流速矢量传感器

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光学精密工程 2011年第1期19卷 103-109页

作者：阙瑞义朱荣刘鹏周兆英清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

针对在微型飞行器上测量空气流速矢量的需要,提出了一种比空速管轻巧、比热线式流速传感器抗干扰能力强的微型热膜式流速传感器及其组合系统。与热线式流速传感器相似,热膜流速传感器仅输出电阻值信息,对流速和流向均敏感。将多个传感... 详细信息

针对在微型飞行器上测量空气流速矢量的需要,提出了一种比空速管轻巧、比热线式流速传感器抗干扰能力强的微型热膜式流速传感器及其组合系统。与热线式流速传感器相似,热膜流速传感器仅输出电阻值信息,对流速和流向均敏感。将多个传感器按照一定规律组合,可实现对一定角度范围内的流速矢量的测量,从而拓展其应用。结合试验推导了组合传感器测量流速矢量的原理与实现条件,讨论了传感器布置的优化方式并进行了误差分析。传感器特性的实验结果表明,按照45°间隔角布置的3个热膜式流速传感器联合,可以测量180°范围的流速矢量。结合推导与实验,证明组合测量方法可行有效,所占空间和能耗均低于阵列方案,且可推广至其它同类型流速计。

关键词：热膜式流速传感器流速矢量数据融合

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用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器

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压电与声光 2000年第1期22卷 30-32,51页

作者：洪涛王佳刘秀梅丁琳清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器，并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±４００Ｖ时其扫描范围达到１３μｍ×１３μｍ。其ｘ，ｙ方向的非线性度小于０... 详细信息

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器，并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±４００Ｖ时其扫描范围达到１３μｍ×１３μｍ。其ｘ，ｙ方向的非线性度小于０．３６％，ｚ方向的非线性度小于０．１４％。这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中。

关键词：扫描探针显微镜压电扫描器压电陶瓷

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计量型扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制

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光电子．激光 2010年第7期21卷 957-962页

作者：刘振李岩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

为克服现有计量型扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描显微镜,实现了一种大行程纳米定位系统,用于显微镜的扫描定位。系统包括伺服电机驱动的两维机械位移台和... 详细信息

为克服现有计量型扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描显微镜,实现了一种大行程纳米定位系统,用于显微镜的扫描定位。系统包括伺服电机驱动的两维机械位移台和压电陶瓷(PZT)驱动的三维柔性铰链微动台,具有双伺服环运动控制机制,由双频激光干涉测量系统进行反馈和溯源。为抑制系统噪声,提高定位精度,设计了数字切比雪夫滤波器,将噪声减小85%。在100 mm×100 mm×20μm行程内,系统具有优于5 nm的定位精度和2 nm的分辨率。

关键词：大量程计量型扫描显微镜纳米定位两级进给双伺服环控制数字滤波

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双波长集成光栅干涉微位移测量方法

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光学精密工程 2012年第11期20卷 2433-2438页

作者：陈烽叶雄英伍康冯金扬清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验。实验系统主要由敏感芯片、波长为640nm和660nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感... 详细信息

介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验。实验系统主要由敏感芯片、波长为640nm和660nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感芯片则由带反射面的可动部件和透明基底上的金属光栅组成。入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动部件与光栅之间的距离变化,通过分别测量两个波长的衍射光强信号并交替切换选取灵敏度较高的输出信号,实现了一定范围内的扩量程位移测量,并得到绝对位置。实验结果表明,利用双波长集成光栅干涉位移检测方法测得敏感芯片可动部件与基底光栅的初始间隙为7.522μm,并实现了间隙从7.522μm到6.904μm区间的高灵敏度位移测量,其噪声等效位移为0.2nm。

关键词：位移测量集成光栅双波长干涉法扩量程

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利用随机二元纯相位调制重构复杂光场波前

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中国激光 2010年第7期37卷 1800-1806页

作者：徐宁汉谭峭峰金国藩清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

在菲涅耳衍射区和夫琅禾费衍射区,分别利用输入面上的多个随机二元纯相位调制,获得多个输出面强度信息,在不需要输入面强度先验信息的基础上,基于迭代算法高精度重构了复杂光场的波前。讨论了菲涅耳衍射区和夫琅禾费衍射区各自特点和适... 详细信息

在菲涅耳衍射区和夫琅禾费衍射区,分别利用输入面上的多个随机二元纯相位调制,获得多个输出面强度信息,在不需要输入面强度先验信息的基础上,基于迭代算法高精度重构了复杂光场的波前。讨论了菲涅耳衍射区和夫琅禾费衍射区各自特点和适用范围。

关键词：物理光学波前重构相位调制复杂光场迭代算法

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基于光学体全息和小波包分解的虹膜识别实现

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光电工程 2007年第5期34卷 97-102页

作者：黄欢才德严瑛白金国藩何庆声清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

在光电混合的体全息系统上实现虹膜识别。利用小波包分解生成特征图像,并且穷举找到具有较高识别率的小波包节点组合。耗时的特征图像生成和图像存储都是事先进行的,光学体全息凭借其多通道和高并行性可以实时地完成特征提取和相关。计... 详细信息

在光电混合的体全息系统上实现虹膜识别。利用小波包分解生成特征图像,并且穷举找到具有较高识别率的小波包节点组合。耗时的特征图像生成和图像存储都是事先进行的,光学体全息凭借其多通道和高并行性可以实时地完成特征提取和相关。计算机对采集到的相关结果进行后处理,通过选择合适的窗口和归一化可以进一步提高识别率。模拟识别率可达98%,实验中的最高识别率为91%。实验结果证明了方案的可行性,并为今后向实用化方向发展奠定了基础。

关键词：虹膜识别体全息相关小波包分解特征图像

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微图形化技术及其在生物医学研究中的应用

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生物化学与生物物理进展 2012年第10期39卷 931-944页

作者：任大海崔明洋夏亦秋尤政清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

结合生物物理学与生物化学的微细加工技术已可以获得与生物大分子相近的特征尺寸,推动了微图形化技术在药物筛选与新药开发、组织工程、疾病诊断等领域的应用.综述了微图形化技术在生物医学领域的发展,讨论了光刻、软光刻、模板辅助构... 详细信息

结合生物物理学与生物化学的微细加工技术已可以获得与生物大分子相近的特征尺寸,推动了微图形化技术在药物筛选与新药开发、组织工程、疾病诊断等领域的应用.综述了微图形化技术在生物医学领域的发展,讨论了光刻、软光刻、模板辅助构图、扫描探针加工、喷墨构图、激光诱导图形化等方法,分析了各种方法的优势、局限性与适用范围,指出分辨力与精度、图形化规模、实验加工条件等是选择不同图形化方法的主要依据.而基于生物物理学和生物化学等对纳米尺度的处理过程进行定量分析、进一步提高其生物兼容性及材料适应性、发展适合图形化芯片的体内微环境模拟技术等是微图形化技术进一步发展的方向.

关键词：生物微系统微图形化光刻表面修饰生物传感器

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法-珀干涉绝对距离测量中的声光移频器双通道配置方法

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物理学报 2012年第18期61卷 94-100页

作者：张丽琼李岩朱敏昊张继涛清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

为在能量天平动圈位移测量中实现大范围纳米精度法-珀干涉绝对距离测量,提出了声光移频器双通道配置,实现了调谐范围为200 MHz的可调谐频差.通过分析声光移频器调制带宽与衍射效率的平衡与入射光束聚焦透镜的关系,确定透镜的最佳焦距范... 详细信息

为在能量天平动圈位移测量中实现大范围纳米精度法-珀干涉绝对距离测量,提出了声光移频器双通道配置,实现了调谐范围为200 MHz的可调谐频差.通过分析声光移频器调制带宽与衍射效率的平衡与入射光束聚焦透镜的关系,确定透镜的最佳焦距范围;利用零级光斑分布特点准确定位入射光束,保证一级衍射光束质量.声光移频器在调制带宽内的实验单通道和双通道峰值衍射效率分别为79.54%,61.41%;声光移频器双通道配置输出的一级衍射光束与入射本征光束的拍频范围为440—640 MHz,是单通道调制带宽输出220—320 MHz的两倍,信噪比好.理论分析表明,声光移频器双通道配置方法实现的可调谐频差可测量腔长变化范围约为53 mm的折叠法-珀腔.

关键词：法.珀干涉,声光移频器,双通道配置,可调谐频差

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无线传感网络协同概率多模识别方法

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通信学报 2011年第6期32卷 141-147页

作者：孙欣尧王雪王晟清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

提出了一种无线传感网络协同概率多模目标识别方法。该方法采用小波分组提取待识别目标声音样本数据中的特征信息,并通过主分量分析对特征信息进行特征维数约简,使该方法在保留样本特征信息的基础上降低识别学习过程的计算量。在使用特... 详细信息

提出了一种无线传感网络协同概率多模目标识别方法。该方法采用小波分组提取待识别目标声音样本数据中的特征信息,并通过主分量分析对特征信息进行特征维数约简,使该方法在保留样本特征信息的基础上降低识别学习过程的计算量。在使用特征信息进行目标识别时,该方法采用了多模高斯分类过程算法,并通过权值可调的委员会决策进行无线多传感节点协作识别,获得全局目标识别结果。实验表明,所提出的方法能够适应复杂环境中的干扰因素,有效识别目标,具有较好的顽健性和识别准确度。

关键词：无线传感网络协同概率多模目标识别高斯过程分类

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