检索结果-内蒙古大学图书馆

光电工程 1999年第2期26卷 30-34页

作者：梁嵘李达成曹芒赵洋清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室

以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探... 详细信息

以ＡＦＭ测量的表面微观形貌为基础，采用数值仿真技术，定量地分析光探针直径对表面微观形貌测量的影响。结果表明：评定参数Ｒａ，Ｒｑ，Ｒｙ，Ｒｚ，Ｒｋｕ以及平均轮廓斜率和最大轮廓斜率都随光探针直径的增加而减小，Ｒｓｍ随光探针直径的增大而增大，而Ｒｓｋ不随光探针直径单调变化。

关键词：轮廓测量光学探针 SPM 扫描探针显微镜

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用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

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电子显微学报 1999年第1期18卷 119-123页

作者：刘秀梅洪涛王佳李达成精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系

扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇｎｅａｒ－ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）自八十年代中期以来获得了迅速的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分... 详细信息

扫描近场光学显微镜ＳＮＯＭ（ｓｃａｎｎｉｎｇｎｅａｒ－ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）自八十年代中期以来获得了迅速的发展，并具有超衍射极限光学分辨率。作为ＳＮＯＭ的关键技术之一，样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理，本文提出了一种新型的样品－针尖间距测控的非光学方法，即，利用压电陶瓷的压电和逆压电效应，将压电陶瓷片分为三部分，分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高，可将样品－针尖的间距控制在３ｎｍ左右，而且廉价、制备十分简单。

关键词：扫描近场光学显微镜间距调控非光学法

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石英谐振式数字称重传感器

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压电与声光 1999年第4期21卷 272-276页

作者：王喆垚朱惠忠董永贵冯冠平清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种由柔性铰链构成的弹性体结构和ＡＴ切型石英谐振器组成的石英谐振式数字称重传感器。通过仔细设计弹性体的结构形式和石英谐振器在弹性体中的位置，可以消除传感器的四角误差，使之象电阻应变式称重传感器一样经过简单的... 详细信息

介绍了一种由柔性铰链构成的弹性体结构和ＡＴ切型石英谐振器组成的石英谐振式数字称重传感器。通过仔细设计弹性体的结构形式和石英谐振器在弹性体中的位置，可以消除传感器的四角误差，使之象电阻应变式称重传感器一样经过简单的调整就可以作为电子衡器的传感器。由于ＡＴ切型石英谐振器在加力方向角约为４０°处存在着力频转换系数温度影响为零的点，利用这一特性可以使传感器的灵敏度温度系数在没有补偿的情况下达到３×１０－４／° Ｃ。通过改变柔性铰链的尺寸可以设计不同量程的传感器，并给出了量程为２００Ｎ的传感器的精度指标。

关键词：称重传感器石英晶体谐振器

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CCD直接细分光栅位移传感器的研究

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光学技术 1999年第3期25卷 1-3,7页

作者：何树荣肖宗扬清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室

介绍一种采用ＣＣＤ为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用ＣＣＤ分辨率高、像素均匀的特点，对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化，改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处... 详细信息

介绍一种采用ＣＣＤ为测量元件的光栅位移传感器的设计方法。该方法利用ＣＣＤ分辨率高、像素均匀的特点，对光栅刻线的像的移动进行精确定位和直接数字化，改变了以往对莫尔条纹进行位相细分的方法。该方法将细分和数字化在测量信号处理流程中的位置前移到光电转换环节，大大简化了后续电路，同时细分数也有大幅度提高，可以方便地实现数千倍的细分。在数据拼接时采用绝对栅距累加的方法，减小了光栅刻线质量对测量精度的影响。

关键词： CCD 光栅直接细分位移传感器

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折射混合望远物镜的设计、制作及实验

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光学技术 1999年第3期25卷 28-31页

作者：赵丽萍赵子英邬敏贤金国藩严瑛白清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室

介绍了用以取代传统双胶合望远镜的混合单透镜的设计方法，结合设计实例详细介绍了折衍混合单透镜的制作过程及实验结果，并对实际成像效果进行了分析。首次给出了反映折衍混合系统成像性能的图片。

关键词：混合单透镜 HOS 望远镜物镜设计制作实验

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动态几何量多站法激光跟踪测量自标定

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光学技术 1999年第3期25卷 25-27,31页

作者：刘永东王佳梁晋文清华大学精密仪器及机械系精密测试技术与仪器国家重点实验室

采用激光跟踪控制系统实现工业几何量动态测量，提出了实现动态几何量测量的基本目标和任务。重点分析了采用多个激光跟踪测量系统实现动态几何量测量的基本原理，以及多站法完成自标定的方法。分析了自标定的仿真算法并给出实验结果。

关键词：动态几何量激光跟踪多站法自标定测量

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激光稳频中的高灵敏度光谱技术

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光学技术 1999年第5期25卷 62-64页

作者：林元庆赵洋清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

高灵敏度谱分析技术是激光稳频系统的关键。通过系统的理论分析，结合国内外研究的稳频系统，详尽介绍了导数谱和ＦＭ光谱激光稳频技术，并对其进行了分析、比较。两者的根本区别在于ＦＭ光谱技术具有相对较大的调制频率，这是它们在... 详细信息

高灵敏度谱分析技术是激光稳频系统的关键。通过系统的理论分析，结合国内外研究的稳频系统，详尽介绍了导数谱和ＦＭ光谱激光稳频技术，并对其进行了分析、比较。两者的根本区别在于ＦＭ光谱技术具有相对较大的调制频率，这是它们在应用中各具特点的根源：ＦＭ光谱技术具有更高的灵敏度和噪声抑制能力，可以探测到０－００５％的微小吸收，而导数谱技术对未知的超精细谱线结构具有较好的兼容性。

关键词：激光稳频 FM光谱技术导数谱技术

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射线成像检测中射线源焦点的影响及修正

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光学技术 1999年第6期25卷 48-49页

作者：任大海尤政孙长库叶声华清华大学精密仪器与机械学系北京100084 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

本文分析了在工业无损检测中射线源焦点对成像质量的影响，讨论了射线源焦点对成像影响的数学模型，以此为基础，设计了相应的焦点修正算法。

关键词：实时成像图像处理无损检测射线源焦点

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用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

用于扫描近场光学显微镜的一种新型非光学样品-探针间距测控方法

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第五届全国STM学术会议

作者：刘秀梅洪涛王佳李达成精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,... 详细信息

扫描近场光学显微镜 SNOM(scanning near-field optical microscope)自八十年代中期以来获得了迅速的发展,并具有超衍射极限光学分辨率。作为 SNOM 的关键技术之一,样品与探针间距的控制十分重要而且实现起来比较困难。基于剪切力原理,本文提出了一种新型的样品-针尖间距测控的非光学方法,即,利用压电陶瓷的压电和逆压电效应,将压电陶瓷片分为三部分,分别用于激励探针振动、固定探针以及探测针尖振动变化。该方法的灵敏度很高,可将样品-针尖的间距控制在3nm 左右, 而且廉价、制备十分简单。

关键词：扫描近场光学显微术间距调控剪切力非光学方法压电

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基于声表面波谐振器的无线测量系统

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测控技术 1999年第10期18卷 9-12页

作者：王生江董永贵冯冠平清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室 100084

传感器无源化使得高温、低温等电子线路无法正常工作的极端环境条件下的参数测量成为可能，而无线测量方式对于运动物体的参数测量极为适合。本文介绍了基于相位延迟时间测试的查询式无线无源声表面波传感器，在此基础上，提出了基于声... 详细信息

传感器无源化使得高温、低温等电子线路无法正常工作的极端环境条件下的参数测量成为可能，而无线测量方式对于运动物体的参数测量极为适合。本文介绍了基于相位延迟时间测试的查询式无线无源声表面波传感器，在此基础上，提出了基于声表面波谐振器的无线无源传感器，并设计实验对这一传感原理进行了验证。.

关键词：无线测量系统声表面波传感器频率谐振器

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