检索结果-内蒙古大学图书馆

采用sol-gel方法制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt形式的拾振器敏感元结构。基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础。

关键词：拾振器 PZT厚膜 Pt/Ti电极湿法化学刻蚀干法刻蚀

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夹心结构FeNi/Cu／FeNi多层膜巨磁阻抗效应的研究

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信息记录材料 2005年第4期6卷 37-40页

作者：商干兵高孝裕余先育曹莹丁文周志敏周勇上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁... 详细信息

采用MEMS技术在玻璃基片上制备了夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜,在100KHz-40MHz范围内研究了FeNi/Cu/FeNi多层膜中的巨磁阻抗效应特性。当磁场Hext施加在薄膜的长方向时,巨磁阻抗效应随磁场的增加而增加,在某一磁场下达到最大值,然后随磁场的增加而下降到负的巨磁阻抗效应。在频率为5MHz时,巨磁阻抗效应在磁场Hext=800A/m时达到最大值25．2％;在磁场Hext=9600A／m时,巨磁阻抗效应为-7．3％。巨磁阻抗效应的最大值及负的巨磁阻抗效应与多层膜中磁各向异性轴的取向及发散有关。另外,当磁场施加在薄膜的短方向时,薄膜表现出负的巨磁阻抗效应,在频率5MHz、磁场Hext=9600A/m时,巨磁阻抗效应可达-19．3％。

关键词：巨磁阻抗效应夹心结构FeNi/Cu/FeNi多层膜 MEMS技术.

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Pd^(2+)离子对TiO_2光催化薄膜化学稳定性的影响

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稀有金属材料与工程 2004年第12期33卷 1347-1350页

作者：徐爱兰惠春许小兵上海交通大学微纳米科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

采用 Sol-Gel 工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加 0.3%~0.5%贵金属 Pd2+的 TiO2-SiO2 复合薄膜。通过对薄膜的 XRD,SEM 表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测,结果表明,在 TiO2-SiO2 薄膜中添加 Pd2+,增强了 TiO2 薄膜的光催化活... 详细信息

采用 Sol-Gel 工艺在普通玻璃表面制备出均匀、透明的添加 0.3%~0.5%贵金属 Pd2+的 TiO2-SiO2 复合薄膜。通过对薄膜的 XRD,SEM 表征及薄膜耐酸、碱化学稳定性的检测,结果表明,在 TiO2-SiO2 薄膜中添加 Pd2+,增强了 TiO2 薄膜的光催化活性,由于 Pd2+所起到阻滞剂的作用,使晶粒尺寸减小,表面呈多孔合理结构,改善了TiO2 薄膜的显微结构,使薄膜的化学稳定性得到明显的提高。

关键词： TiO2光催化复合薄膜化学稳定性

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环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望

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高分子材料科学与工程 2004年第4期20卷 59-61页

作者：朱军刘景全张金娅陈迪石磊薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米技术研究院上海200030

环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(γ-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体。SU-8胶作为一种光刻材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学... 详细信息

环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(γ-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体。SU-8胶作为一种光刻材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro-electro-mechanic-sys-tem)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中。本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展。

关键词：环氧基紫外负性光刻胶应用双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂有机聚合物胶体光刻结构性能微线圈微弹簧

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液相法制备纳米粒子的粒径控制研究

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功能材料 2004年第Z1期35卷 2699-2703页

作者：张效岩王英张亚非上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布... 详细信息

液相法是目前制备纳米粒子的重要方法之一.本文简要地阐述了液相法制备纳米粒子时粒径控制的机理,并在液相法过程特征的基础上,重点分析了影响粒径分布和形状控制的几个最主要因素,详细解释了化学计量学方法在控制纳米粒子粒度及其分布方面的应用.

关键词：纳米粒子液相法粒径控制化学计量学

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基于Parylene薄膜的微型电磁驱动器的设计与工艺

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机械制造 2004年第12期42卷 25-28页

作者：苏宇锋陈文元上海交通大学微米纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室200030

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片... 详细信息

主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺。该驱动器结构简单,由Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一起。分析了平面电磁线圈的驱动特性和驱动器振动膜的形变,对其关键尺寸进行优化。采用电镀工艺在硅基片上电镀驱动线圈、在Parylene薄膜上电镀NiFe合金阵列,并采用牺牲层工艺得到振动膜的悬空结构。

关键词：电磁驱动微驱动器 Parylene振动膜

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