检索结果-内蒙古大学图书馆

纳米技术与精密工程 2012年第4期10卷 307-312页

作者：罗彪温志渝陈李钱蓉蓉梁玉前重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400030 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400030 重庆大学微系统研究中心重庆400030

针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论... 详细信息

针对集成角度传感器微镜在实际使用过程中的要求,在分析研究MOEMS扫描微镜结构与工作原理的基础上,进行了MOEMS扫描微镜最大偏转角度、驱动电压、谐振频率和传感器输出参数的测试.并且为了提高数据的可靠性,利用几何光学理论和误差理论的方法对该测试系统进行了详细分析,以此作为测试的系统误差与测试随机误差进行了误差合成.误差分析表明,该微镜在驱动电压为0.7 V时,最大偏转角为±8.704 15°,测试误差为±0.045 605°.此外,还对测试过程中扫描微镜谐响应频率随扫描模式及扫描电压而变化的现象进行了分析.

关键词： MOEMS 微镜角度传感器误差分析测试

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MOEMS微镜面阵光谱仪的优化设计与实验

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光谱学与光谱分析 2011年第12期31卷 3412-3416页

作者：莫祥霞温志渝张智海郭媛君重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波器实现脉冲信号输出,无需机械模板实现哈达吗调制,象元分辨率高,体积小,成本低等优点。针对MOEMS微镜... 详细信息

MOEMS(micro optical electronic mechanical system)微镜面阵光谱仪主要利用微镜面阵分时选通实现单个探测器光谱测量,具有无需斩波器实现脉冲信号输出,无需机械模板实现哈达吗调制,象元分辨率高,体积小,成本低等优点。针对MOEMS微镜面阵光谱仪设计中,狭缝尺寸与光通量之间的矛盾,本文系统深入的分析该光谱仪微型结构引入的新影响因素,获取最优值,实现光谱分辨率改进。首先,提出了衍射限制,空间采样率和谱面内弯曲对分辨率的影响,模拟仿真,获取最优参数。最后,搭建实验,进行测试。结果表明:微型光谱仪中,谱面内弯曲影响较小;衍射受限导致光谱分辨率无法进一步改善;空间采样率要求光谱光学分辨力至少是象元分辨力的两倍;综合评价的狭缝最优值为1.818μm,象元分辨力为2.278 6nm。

关键词：分辨率微镜光谱仪 MOEMS

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微型MOEMS阿达玛变换近红外光谱仪

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光谱学与光谱分析 2011年第7期31卷 1975-1979页

作者：张智海莫祥霞郭媛君王伟重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

提出一种运用微光机电系统（micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MO... 详细信息

提出一种运用微光机电系统（micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS）闪耀光栅,动态产生阿达玛变换模版的微型近红外光谱仪。它具有体积小、价格低、扫描速度快等突出优点。分析了这种新型近红外光谱仪的结构和工作原理,通过对MOEMS闪耀光栅编程,动态生成了63阶阿达玛模版。实验得到的光谱波形与岛津光谱仪测量结果吻合。检测波长范围为900-1 500 nm,分辨率为19 nm,单次扫描时间2.4s,信噪比为44.67∶1,光路尺寸为70 mm×130 mm,总体重量〈1 kg,符合实时、便携的要求。

关键词：近红外光谱仪阿达玛变换微光机电系统闪耀光栅

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基于紫外-可见光谱分析的水质监测技术研究进展

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光谱学与光谱分析 2011年第4期31卷 1074-1077页

作者：魏康林温志渝武新张中卫曾甜玲重庆大学新型微纳器件与系统国家重点学科实验室微系统研究中心光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

光谱分析在水质监测领域的应用是现代环境监测技术的一个重要发展方向。文章论述了基于紫外-可见光谱分析的现代水质监测技术的原理与特点,并从在线监测和原位监测两个方面论述了该技术的主要研究现状与进展,指出了尚需突破的关键技术问... 详细信息

光谱分析在水质监测领域的应用是现代环境监测技术的一个重要发展方向。文章论述了基于紫外-可见光谱分析的现代水质监测技术的原理与特点,并从在线监测和原位监测两个方面论述了该技术的主要研究现状与进展,指出了尚需突破的关键技术问题,展望了基于集成化微型光谱仪的多参数水质监测微系统及水质监测微系统网络的技术发展趋势,对我国水资源环境监测技术的发展及现代科学仪器的研发具有一定的参考价值。

关键词：水质监测光谱分析微型光谱仪

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基于弯曲板波的延迟线振荡器的ANSYS仿真

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微纳电子技术 2011年第10期48卷 664-668页

作者：胡晶温志渝陈李张祖伟重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有限元软件ANSYS建立了基于弯曲板波的延迟线振... 详细信息

针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有限元软件ANSYS建立了基于弯曲板波的延迟线振荡器的3D有限元模型,并对其进行了谐响应分析以及瞬态动力学分析。谐响应分析得到A0模式的谐振频率为37.2 MHz,与理论计算结果的相对误差为9.3%;瞬态动力学分析得到A0模式的谐振频率为39.1 MHz,与理论计算结果的相对误差为4.6%。计算和仿真为基于弯曲板波的延迟线振荡器的结构设计提供了重要的依据。

关键词：延迟线振荡器弯曲板波(FPW) ANSYS软件 3D模型谐响应分析

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基于量子级联激光器的气体检测系统的发展与应用

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光谱学与光谱分析 2010年第8期30卷 2043-2048页

作者：温志渝王玲芳陈刚重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆大学微系统研究中心重庆400044

量子级联激光器(QCLs)的快速、灵敏和选择性气体检测等独特优点,使其成为2.5～25μm波长范围内中红外气体检测的理想光源。中红外QCLs在气体检测方面的应用已成为世界各国的研究焦点。尤其是在大气环境监测、太空探索和反恐防恐等领域... 详细信息

量子级联激光器(QCLs)的快速、灵敏和选择性气体检测等独特优点,使其成为2.5～25μm波长范围内中红外气体检测的理想光源。中红外QCLs在气体检测方面的应用已成为世界各国的研究焦点。尤其是在大气环境监测、太空探索和反恐防恐等领域的应用表现出了其他红外检测系统无可比拟的优势。该文重点介绍了基于量子级联激光器的气体检测系统工作原理、应用及发展趋势。

关键词：量子级联激光器气体检测光谱分析系统

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光栅平动式光调制器的残余应力自测量方法和试验

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机械工程学报 2010年第8期46卷 12-17页

作者：张智海黄尚廉张洁金珠王宁重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构。这些测试结构体积较大,一方面占用有限的光刻版面积,另一方面加电和测试时都会增加复杂性和难度。针对一种基于微光机电系统(Mic... 详细信息

对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构。这些测试结构体积较大,一方面占用有限的光刻版面积,另一方面加电和测试时都会增加复杂性和难度。针对一种基于微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical systems,MOEMS)技术的光栅平动式光调制器(Grating moving light modulator,GMLM),提出一种无须外加测量结构,直接利用GMLM本身结构特性得到残余应力的测量方法。这种测量方法利用残余应力与GMLM吸合电压之间的关系,由吸合电压测量值可以计算出材料的残余应力值。推导GMLM残余应力与GMLM吸合电压之间的关系式,并考虑平行板电容的边缘效应加以修正。通过试验,给出实际GMLM采用的Al-1%Si膜的残余应力为99MPa。该方法的应用,使得GMLM器件具有残余应力自测量功能,实现测量和执行结构一体化,降低器件残余应力测量的成本和复杂度。

关键词：光栅平动式光调制器微光机电系统残余应力自测量方法吸合电压

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微光机电系统光栅平动式光调制器的激光投影研究

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中国激光 2010年第3期37卷 663-667页

作者：张智海重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

提出了一种新颖的面向激光投影的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺和投影光学系统。介绍了GMLM的光调制原理和以GMLM阵列为核心器件的投影光学系统的构成。建立了GMLM的等... 详细信息

提出了一种新颖的面向激光投影的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺和投影光学系统。介绍了GMLM的光调制原理和以GMLM阵列为核心器件的投影光学系统的构成。建立了GMLM的等效光学模型,用标量衍射方法推导出了GMLM经过投影光学系统成像的夫琅禾费衍射图样复振幅分布。搭建了GMLM投影演示系统,进行了静态投影和动态投影实验。实验验证了上述公式的正确性,并且验证了GMLM光调制原理和投影成像原理。

关键词：微光机电系统光栅平动式光调制器标量衍射激光投影显示

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基于MEMS的结构监测无线传感器网络研究进展

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压电与声光 2010年第4期32卷 692-696页

作者：魏康林温志渝赵新强张中卫曾甜玲重庆大学新型微纳器件与系统国家重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

为实现对重大工程结构健康的网络化在线监测,将多功能系统集成的微机电系统(MEMS)微传感器组成分布式无线信息测控网络,基于微机电系统(MEMS)技术的重大工程结构健康监测无线传感器网络是土木工程领域正在发展的技术前沿。该文介绍了国... 详细信息

为实现对重大工程结构健康的网络化在线监测,将多功能系统集成的微机电系统(MEMS)微传感器组成分布式无线信息测控网络,基于微机电系统(MEMS)技术的重大工程结构健康监测无线传感器网络是土木工程领域正在发展的技术前沿。该文介绍了国外该技术的基础理论模型、关键核心技术和应用开发等方面的研究现状与进展,分析了目前需迫切解决的关键共性技术瓶颈及可行的解决途径,据此提出了研发技术路线,对我国重大工程结构健康检测具有一定的参考价值。

关键词：结构健康监测无线传感器网络微传感器微机电系统(MEMS) 微能源

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高校微机电系统加工实验室的管理与运行

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实验技术与管理 2010年第11期27卷 16-20,24页

作者：王胜强李冬玲尚正国贺学锋重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验... 详细信息

微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。

关键词：微电子机械系统超净间管理

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