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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

28 篇 专利

馆藏范围

28 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

机构

4 篇 因菲尼泰西马有限...
2 篇 中国科学院半导体...
2 篇 上海师范大学
2 篇 复旦大学
2 篇 上海交通大学
2 篇 大族激光科技产业...
2 篇 英菲尼特斯马有限...
2 篇 北京航空航天大学
2 篇 中国科学院地质与...
2 篇 燕山大学
1 篇 国家电投集团科学...
1 篇 应用材料公司
1 篇 南京大学
1 篇 江苏恒神股份有限...
1 篇 堀场乔宾伊冯公司
1 篇 武汉新芯集成电路...

作者

6 篇 安德鲁·汉弗里斯
2 篇 李艳丽
2 篇 刘显和
2 篇 王瑾
2 篇 王莉娟
2 篇 李岩
2 篇 李密峰
2 篇 林杨挺
2 篇 安小广
2 篇 曹锋
2 篇 查国伟
2 篇 喻颖
2 篇 牛智川
2 篇 陈建超
2 篇 伍强
2 篇 王庆康
2 篇 何东磊
2 篇 万霞
2 篇 张建超
2 篇 杨晔

语言

28 篇 中文

检索条件"主题词=扫描样品表面"

共 28 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

检测样品的方法以及多电子束检测系统

检测样品的方法以及多电子束检测系统

引用

作者：伯纳德·G·穆勒彼得·努南美国加利福尼亚州

描述了一种用于使用多电子束检测系统(100)检测样品的方法。该方法包含：将样品放置于在X‑Y平面延伸的可移动平台(110)上；产生向样品传播的多个电子束(105)；在二维阵列中的多个探测位置(106)处将电子束聚焦在该样品上；通过以预定扫... 详细信息

标准号: CN115427798A

描述了一种用于使用多电子束检测系统(100)检测样品的方法。该方法包含：将样品放置于在X‑Y平面延伸的可移动平台(110)上；产生向样品传播的多个电子束(105)；在二维阵列中的多个探测位置(106)处将电子束聚焦在该样品上；通过以预定扫描模式移动该可移动平台来扫描样品表面，同时保持多个电子束静止；以及检测在该可移动平台的移动期间从该样品发射的信号电子，以用于检测该样品。进一步地，描述了用于根据以上方法检测样品的多电子束检测系统(100)。

关键词：电子束可移动平台电子束检测系统检测样品扫描样品表面二维阵列平面延伸扫描模式探测位置信号电子样品放置移动期间检测静止聚焦发射移动传播

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一种快速原位放电修整加工STM探针的方法

一种快速原位放电修整加工STM探针的方法

引用

作者：杨晔 200234 上海市徐汇区桂林路100号

本发明涉及一种快速原位放电修整加工STM探针的方法，STM扫描样品表面后，进行原位的探针针尖修整加工：将STM探针作为阳极，样品作为阴极，控制纳米尺度的极间加工间距，在两极间施加短脉冲的直流电压，形成纳米尺度的放电通道，蚀除... 详细信息

标准号: CN110026626A

本发明涉及一种快速原位放电修整加工STM探针的方法，STM扫描样品表面后，进行原位的探针针尖修整加工：将STM探针作为阳极，样品作为阴极，控制纳米尺度的极间加工间距，在两极间施加短脉冲的直流电压，形成纳米尺度的放电通道，蚀除探针针尖的边缘材料，提高针尖的尖锐度。与现有技术相比，本发明不但可以实现STM探针的尖锐化，从而提高STM扫描成像的分辨率，而且在整个探针的修整加工过程中，不需要进行探针的装夹和重复定位，在STM装置中选定区域后原位地进行即可，提高了加工效率，操作方便且快速。

关键词：探针修整加工纳米尺度探针针尖阴极扫描样品表面阳极边缘材料放电通道加工效率快速原位扫描成像选定区域直流电压重复定位短脉冲尖锐度分辨率针尖放电蚀除两极施加尖锐加工

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一种SiC/SiC复合材料包壳管辐照性能评价方法

一种SiC/SiC复合材料包壳管辐照性能评价方法

引用

作者：孔淑妍刘昊成冯宗悦 102209 北京市昌平区未来科技城国家电投集团科学技术研究院有限公司院内A座8层至11层

本发明公开了一种SiC/SiC复合材料包壳管辐照性能评价方法。本发明通过调节加热激光频率实现辐照后微米尺度的热导率测试，获得辐照前后纤维基体的导热性能变化，该方法可以实现微米尺度的测试，观察离子辐照效应；对样品的限制较少，... 详细信息

标准号: CN118050383A

本发明公开了一种SiC/SiC复合材料包壳管辐照性能评价方法。本发明通过调节加热激光频率实现辐照后微米尺度的热导率测试，获得辐照前后纤维基体的导热性能变化，该方法可以实现微米尺度的测试，观察离子辐照效应；对样品的限制较少，适用于SiC/SiC复合材料这种结构复杂的材料，同时，对测试样品形状没有过多的要求，测量容易实现。本发明中采用的高定位精度的纳米压痕法通过类AFM方法扫描样品表面，然后再定位压痕位置，分析特定位置的力学性能的方法可以实现对结构复杂的SiC/SiC复合材料的分析，通过扫描样品表面信息，分析辐照前后纤维与基体表面的高度差，从在力学性能测量的同时获得样品表面高度信息，进而得到SiC/SiC复合材料中纤维与基体的结合强度。

关键词：辐照复合材料扫描样品表面微米尺度力学性能测量复合材料包纳米压痕法热导率测试测试样品导热性能高度信息基体表面加热激光离子辐照力学性能纤维基体性能评价压痕位置样品表面分析高定位高度差再定位中纤维壳管测量纤维测试观察

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基于微悬臂-介质微球与金属基底组合系统的扫描拉曼痕量分子检测

基于微悬臂-介质微球与金属基底组合系统的扫描拉曼痕量分子检测

引用

作者：邱彩玉袁洪涛秦峰黄俊伟 210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号

本发明公开了基于微悬臂‑介质微球与金属基底组合系统的扫描拉曼痕量分子检测。所述组合系统包括共焦拉曼光谱仪与原子力显微镜联合使用系统，该联合使用系统包括微悬臂‑微球探针和金属基底，所述金属基底为表面沉积有金纳米粒子的硅衬... 详细信息

标准号: CN118111971A

本发明公开了基于微悬臂‑介质微球与金属基底组合系统的扫描拉曼痕量分子检测。所述组合系统包括共焦拉曼光谱仪与原子力显微镜联合使用系统，该联合使用系统包括微悬臂‑微球探针和金属基底，所述金属基底为表面沉积有金纳米粒子的硅衬底；将待测分子吸附于拉曼增强效应基底，结合位置可控的介质微球得到组合检测系统，从而可以通过扫描样品表面进行增强拉曼光谱成像。本发明提供的超灵敏痕量分子检测方法经济高效，有生物、食品、化工等领域的实用化、商业化检测应用前景。

关键词：金属基分子检测介质微球组合系统微悬臂痕量共焦拉曼光谱仪拉曼光谱成像扫描样品表面原子力显微镜金纳米粒子表面沉积分子吸附检测应用结合位置组合检测硅衬底可控的效应基探针微球灵敏扫描

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一种快速原位放电修整加工STM探针的方法

一种快速原位放电修整加工STM探针的方法

引用

作者：杨晔 200234 上海市徐汇区桂林路100号

标准号: CN110026626B

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一种预氧丝皮芯结构的表征方法

一种预氧丝皮芯结构的表征方法

引用

作者：徐盼盼李常清殷伟涛钱鸿川钱京 212314 江苏省镇江市丹阳市通港路777号

本发明公开了一种预氧丝皮芯结构的表征方法，包括：用中温固化环氧树脂将预氧丝进行浸渍并固化，固化温度为80～120℃；将固化后的预氧丝进行包埋并固化，包埋用树脂为低温固化环氧树脂，固化温度为50～70℃；修整固化好的包埋块得到... 详细信息

标准号: CN111562279A

本发明公开了一种预氧丝皮芯结构的表征方法，包括：用中温固化环氧树脂将预氧丝进行浸渍并固化，固化温度为80～120℃；将固化后的预氧丝进行包埋并固化，包埋用树脂为低温固化环氧树脂，固化温度为50～70℃；修整固化好的包埋块得到表面平整的测试端面；将测试端面喷金，然后采用电子探针扫描样品表面，对元素的含量进行分析。本发明可直接定量的表征预氧丝各主要元素（特别是氧元素）含量沿纤维径向的变化情况，从而分析预氧丝皮芯结构产生的机理。

关键词：固化预氧丝环氧树脂测试端面皮芯结构包埋扫描样品表面浸渍表面平整低温固化电子探针纤维径向中温固化包埋块氧元素树脂喷金修整分析

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一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用

一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用

引用

作者：李艳丽伍强刘显和 200433 上海市杨浦区邯郸路220号

本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏... 详细信息

标准号: CN114509923B

本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏，也即离焦量，后续物镜对此处成像时直接通过移动工件台来调节离焦的高度z，使得被测图形清晰。本发明装置结构简单，将其和具有较少镜片的深紫外物镜配合使用，可用于明场成像的半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，检测效率更高。

关键词：紫外物镜调焦调平物镜半导体集成电路调焦调平装置发明装置结构扫描样品表面可调节螺丝移动工件台垂直放置高低起伏明场成像缺陷检测离焦量硅片镜片可用离焦黏附成像清晰检测应用

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一种制备透视电镜样品过程中的失效比特定位方法

一种制备透视电镜样品过程中的失效比特定位方法

引用

作者：高慧敏张顺勇张佐兵 430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

本发明涉及一种制备透射电镜样品过程中的失效比特定位方法，包括以下步骤：步骤一，将样品研磨至第一层金属线的位置；步骤二，将研磨好后的样品放置于聚焦离子束机台内，在离子束下把目标金属线的线列上挖小洞作为标记，所述目标金属... 详细信息

标准号: CN103543056A

本发明涉及一种制备透射电镜样品过程中的失效比特定位方法，包括以下步骤：步骤一，将样品研磨至第一层金属线的位置；步骤二，将研磨好后的样品放置于聚焦离子束机台内，在离子束下把目标金属线的线列上挖小洞作为标记，所述目标金属线为列地址；步骤三，将机台转换成电子束模式，在高压电子束下持续小电流扫描样品表面，数出行地址，在行地址的目标钨柱附近沉淀铂金；步骤四，将机台调回至离子束下，在铂金附近扫挖，使目标钨柱露出；步骤五，在列地址和行地址的交叉处确定比特地址，用离子束在比特地址处镀上铂金保护层。本发明极大的缩短数地址时间，使失效比特地址的寻找变得方便快捷，大量节约时间和机台资源，避免对芯片本身的人为破坏。

关键词：机台比特地址离子束铂金电子束目标金属研磨扫描样品表面透射电镜样品线列比特定位地址时间方便快捷聚焦离子人为破坏保护层对芯片金属线电流沉淀露出转换寻找

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矢量式AFM纳米加工系统的纳米压印模版的制备方法

矢量式AFM纳米加工系统的纳米压印模版的制备方法

引用

作者：王庆康胡克想王阳培华万霞 200240 上海市闵行区东川路800号

一种纳米制造技术领域的矢量式AFM纳米加工系统的纳米压印模版的制备方法，通过对所需要的纳米结构进行矢量化编程得到加工宏文件以控制针尖的运动，并AFM进入成像模式扫描状态，然后开始扫描样品表面，待扫描过程稳定并得到稳定的重复... 详细信息

标准号: CN102303840B

一种纳米制造技术领域的矢量式AFM纳米加工系统的纳米压印模版的制备方法，通过对所需要的纳米结构进行矢量化编程得到加工宏文件以控制针尖的运动，并AFM进入成像模式扫描状态，然后开始扫描样品表面，待扫描过程稳定并得到稳定的重复性好的扫描图像后，进入脚本程序模式，通过调用第三步中得到的加工宏文件并导入加工系统中开始加工；待加工完成后，进入实时成像模式，再次扫描来获得加工结构的表面形貌结构图；最后利用所制备的纳米图形结构作为掩膜，结合高选择性各向异性湿法刻蚀技术，将AFM电场诱导阳极氧化制备出的纳米结构图形转移到基底上，进而制造出纳米结构模版。

关键词：纳米结构宏文件模版形貌各向异性湿法纳米图形结构纳米制造技术扫描样品表面成像模式电场诱导高选择性加工结构加工系统脚本程序刻蚀技术纳米加工纳米压印扫描过程扫描图像扫描状态实时成像图形转移阳极氧化制备方法矢量化矢量式针尖导入基底掩膜编程扫描

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自组织单量子点的定位方法及装置

自组织单量子点的定位方法及装置

引用

作者：尚向军倪海桥査国伟喻颖李密峰王莉娟徐建星牛智川 100083 北京市海淀区清华东路甲35号

本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫... 详细信息

标准号: CN103163109B

本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面微区，并收集所述微区中量子点的荧光光束，其还用于扫描样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其方法是：在所述荧光光谱找到单量子点对应的分立谱线后停止扫描，打开所述紫外光对当前扫描的样品表面微区光刻胶曝光，以定位单量子点。本发明避免了平面阵列版图工艺在定位单量子点微区上的盲目性，达到了原位准确定位单量子点的目的，提高了单光子源器件的成品率。

关键词：量子点紫外光荧光光束样品表面荧光光谱光刻胶扫描扫描样品表面紫外光源装置光谱仪定位装置平面阵列准确定位激光器曝光成品率光子源物镜显微盲目性版图汇聚停止

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