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检索条件"主题词=激光结晶系统"
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激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法
激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法
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作者： 吴在焕 崔宰凡 李源规 张荣真 陈圣铉 韩国京畿道
一种激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法，该系统包括：i)母基板，在该母基板中形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向顺序布置；ii)台子，支撑母基板并沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动。该系统... 详细信息
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激光结晶系统及其晶化能量控制方法
激光结晶系统及其晶化能量控制方法
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作者： 王志刚 李子健 唐丽娟 李勇 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处塘家社区观光路汇业科技园综合楼1第一层B区
本发明实施例提供一种激光结晶系统及其晶化能量控制方法，所述激光结晶系统包括：Mura监控设备，用于监控晶化过程中的实时Mura状况；主机台，与所述Mura监控设备相连接，用于判断所述Mura监控设备监控得到的实时Mura状况的实时级别，... 详细信息
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激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法
激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法
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作者： 吴在焕 崔宰凡 李源规 张荣真 陈圣铉 韩国京畿道
一种激光结晶系统及使用该系统制造显示装置的方法，该系统包括：i)母基板，在该母基板中形成有非晶半导体层的第一、第二和第三显示区域沿第一方向顺序布置；ii)台子，支撑母基板并沿第一方向和垂直于第一方向的第二方向移动。该系统... 详细信息
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连续涂覆设备、生产晶态薄膜和太阳电池的方法
连续涂覆设备、生产晶态薄膜和太阳电池的方法
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作者： 阿文德·沙 霍斯特·谢德 霍尔格·明兹 马丁·沃尔克 迈克尔·沙尔 马赛厄斯·克兰茨 德国上科亨
本发明涉及连续涂覆设备(100)，其包括真空室(110)、物理气相沉积装置(112)和激光结晶系统(122)，真空室(110)具有供给被涂覆的基板(106)的供给开口(102)和卸出被涂覆的基板(106)的卸载开口(104)，物理气相沉积装置(112)涂覆所述基板(1... 详细信息
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激光结晶系统和控制准分子激光退火制程能量密度的方法
激光结晶系统和控制准分子激光退火制程能量密度的方法
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作者： 曹义昌 吴焕照 林文章 张志雄 台湾省新竹市
本发明提供一种激光结晶系统和一种实时控制准分子激光退火程序能量密度的方法。该激光结晶系统包含有一准分子激光退火装置与一光学检测装置。该实时控制准分子激光退火程序的能量密度的方法，包含有利用进行一最佳能量密度决定程序，... 详细信息
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